[發(fā)明專利]基于相關(guān)識別的三維表面重建方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810052323.X
• 申請日: 2008-02-26
• 公開（公告）號: CN101236659A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王懷文;計宏偉;王勇
• 申請（專利權(quán)）人: 天津商業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G06T11/00
• 分類號: G06T11/00;G06T15/00;G06K9/46
• 代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司
• 代理人: 肖莉麗

1、一種基于相關(guān)識別的三維表面重建方法，其特征在于，包括下述步驟：

(1)將樣品表面放在掃描電鏡下采集樣品的二維照片；

(2)旋轉(zhuǎn)載物臺，將觀察的樣品傾斜一定的立體角，采集傾斜后樣品的二維照片；

(3)將樣品傾斜前和傾斜后的二維圖像通過相關(guān)識別方法匹配像點，確定出樣品表面上各點在傾斜前和傾斜后圖像中的像點坐標；

(4)根據(jù)傾斜前和傾斜后圖像中的像點坐標和立體角計算出圖像中各點的相對高程，之后依據(jù)各點的相對高程重建樣品表面的三維圖像。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于相關(guān)識別的三維表面重建方法，其特征在于，傾斜的立體角為3°～15°。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于相關(guān)識別的三維表面重建方法，其特征在于，基于相關(guān)識別的匹配像點的過程如下：

首先在傾斜前圖像中選定一個子區(qū)域，作為參考子區(qū)域，即f(x，y)，(x，y)為參考子區(qū)域內(nèi)任一點的坐標；然后在傾斜后圖像中尋找與參考子區(qū)域相對應(yīng)的那個子區(qū)域g(x^*，y^*)，(x^*，y^*)為傾斜后圖像中子區(qū)域內(nèi)任一點的坐標；計算子區(qū)域g(x^*，y^*)與參考子區(qū)域f(x，y)之間的互相關(guān)系數(shù)，該相關(guān)系數(shù)為：

C=Σ[f(x,y)·g(x*,y*)]Σf2(x,y)·Σg2(x*,y*)]]>

?????x^*＝x+u

其中：

?????y^*＝y(tǒng)+v，

式中u，v為參考子區(qū)域中心點的位移；相關(guān)系數(shù)取最大值時的位移值u和v即為參考子區(qū)域的真實位移值。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于相關(guān)識別的三維表面重建方法，其特征在于，高程計算公式為：

h=d1cosθ-d2sinθ]]>

其中，h為樣品上某點P_A和參考點P_B之間的高程差，θ為立體角，d₁為P_A和P_B兩點在傾斜前圖像上沿著與傾斜軸垂直方向的投影距離，由傾斜前圖像上P_A和P_B兩點的像點坐標之差得到。如果點P_A和參考點P_B點在傾斜后圖像中的對應(yīng)點為P’_A和P’_B，則d₂為P’_A和P’_B兩點沿著與傾斜軸垂直方向的投影距離，由傾斜后圖像上P’_A和P’_B兩點的像點坐標之差得到。