[發(fā)明專利]紫外光學(xué)儀器分辨率測試儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810050938.9
• 申請日: 2008-07-08
• 公開（公告）號: CN101308059A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王淑榮;王加朋;李福田
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所
• 代理人: 趙炳仁

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于紫外光學(xué)儀器像質(zhì)評價測試儀器，特別涉及一種紫外光學(xué)儀器分辨率的檢測裝置。

背景技術(shù)

在可見光和紅外波段，光學(xué)儀器的像質(zhì)評價方法主要有光學(xué)傳遞函數(shù)法、星點法、分辨率法和點列圖法，而在近紫外波段由于缺少紫外光學(xué)儀器的檢測設(shè)備，紫外光學(xué)儀器的成像質(zhì)量和儀器整機的性能評價只能在可見光波段進行，因此測量結(jié)果存在一定的誤差和失真性。對于像差較大的光學(xué)系統(tǒng)，如望遠系統(tǒng)和照相系統(tǒng)，分辨率會隨著像差增大而有明顯的變化，因此分辨率檢測可以區(qū)分系統(tǒng)的像質(zhì)差異。分辨率檢測可以獲得有關(guān)待檢光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)的信息，給出像質(zhì)的數(shù)字指標(biāo)，易于定量測量和比較。為適應(yīng)研究需要，研制紫外光學(xué)分辨率測試儀具有十分重要的實用價值。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，為了解決紫外光學(xué)儀器成像質(zhì)量因缺少有效的評價手段而存在的一系列問題，提出一種紫外光學(xué)儀器分辨率測試儀。使對紫外波段進行像質(zhì)評價成為可能。

本發(fā)明紫外光學(xué)儀器分辨率測試儀，包括氘燈光源、機械可變光闌、石英聚光鏡、由入射狹縫組機構(gòu)和準(zhǔn)直反射鏡、與波長驅(qū)動機構(gòu)相連接的閃耀光柵、成像反射鏡、平面反射鏡、出射狹縫構(gòu)成的紫外單色儀、紫外漫透射器、紫外分辨率板、二維調(diào)節(jié)平臺、轉(zhuǎn)折平面反射鏡、非球面準(zhǔn)直鏡、光學(xué)導(dǎo)軌、待測光學(xué)儀器平臺、圖像采集系統(tǒng)和計算機，所述的氘燈光源通過機械可變光闌、石英聚光鏡按1∶1比例成像于所述的紫外單色儀的入射狹縫組機構(gòu)上，由紫外單色儀出射狹縫處發(fā)射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器上，紫外漫透射器和紫外分辨率板通過卡具壓緊在一起，固定在二維調(diào)節(jié)平臺之上，并將二維調(diào)節(jié)平臺置于出射狹縫之后，經(jīng)過紫外漫透射器的漫透射作用，紫外分辨率板局部被均勻照明，紫外分辨率板經(jīng)過平面反射鏡和非球面準(zhǔn)直鏡形成無限遠紫外分辨目標(biāo)；待測光學(xué)儀器平臺置于光學(xué)導(dǎo)軌上，光學(xué)導(dǎo)軌軸線與平行光路的光軸重合；所述的波長驅(qū)動機構(gòu)和圖像采集系統(tǒng)分別與計算機控制連接。

在所述的石英聚光鏡和紫外單色儀的入射狹縫組機構(gòu)之間、準(zhǔn)直反射鏡和成像反射鏡之間、閃耀光柵和平面反射鏡之間、平面反射鏡和出射狹縫之間還分別設(shè)置一消雜光陷阱，以實現(xiàn)有效地抑制單色儀的雜光水平。

本發(fā)明的特點：首次將小F/#紫外單色儀應(yīng)用于分辨率測試裝置作為光源，在消除儀器雜光方面采取了積極的措施，如在紫外單色儀入射狹縫、出射狹縫和兩反射鏡之間設(shè)置消雜光陷阱，有效地抑制了單色儀的雜光水平；應(yīng)用紫外漫透射器使紫外輻射均勻照明紫外分辨率板，不會因照明不均勻而使部分分辨目標(biāo)對比度下降；由于紫外波段可選的材料有限，按照常規(guī)平行光管的設(shè)計原則，相差校正存在極大的困難。本發(fā)明采用非球面設(shè)計反射式平行光管，形成無窮遠紫外分辨率目標(biāo)。不僅減少了設(shè)計和加工成本，而且使紫外能量得到了最大程度的利用。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的紫外光學(xué)儀器分辨率測試儀結(jié)構(gòu)原理示意圖；

圖2是圖1中所示狹縫組機構(gòu)4的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖給出的實施例對本發(fā)明結(jié)構(gòu)作進一步詳細闡述。

參照圖1，一種紫外光學(xué)儀器分辨率測試儀，包括氘燈光源1、機械可變光闌2、石英聚光鏡3、由入射狹縫組機構(gòu)4、準(zhǔn)直反射鏡5、與波長驅(qū)動機構(gòu)18相連接的閃耀光柵6、成像反射鏡8、平面反射鏡9、出射狹縫10構(gòu)成的紫外單色儀、紫外漫透射器11、紫外分辨率板12、二維調(diào)節(jié)平臺13、轉(zhuǎn)折平面反射鏡14、非球面準(zhǔn)直鏡15、光學(xué)導(dǎo)軌16、待測光學(xué)儀器平臺17、圖像采集系統(tǒng)19和計算機20，所述的氘燈光源1通過機械可變光闌2、石英聚光鏡3按1∶1比例成像于所述的紫外單色儀的入射狹縫組機構(gòu)4上，由紫外單色儀出射狹縫10處發(fā)射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器11上，紫外漫透射器11和紫外分辨率板12通過卡具壓緊在一起，固定在二維調(diào)節(jié)平臺13之上，并將二維調(diào)節(jié)平臺13置于出射狹縫10之后，經(jīng)過紫外漫透射器11的漫透過作用，紫外分辨率板12局部被均勻照明，紫外分辨率板12經(jīng)過平面反射鏡14和非球面準(zhǔn)直鏡15形成無限遠紫外分辨目標(biāo)；待測光學(xué)儀器平臺17置于光學(xué)導(dǎo)軌16上，光學(xué)導(dǎo)軌16軸線與平行光路的光軸重合；所述的波長驅(qū)動機構(gòu)18和圖像采集系統(tǒng)19分別與計算機20控制連接。

在所述的石英聚光鏡3和紫外單色儀的入射狹縫組機構(gòu)4之間、準(zhǔn)直反射鏡5和成像反射鏡8之間、閃耀光柵6和平面反射鏡9之間、平面反射鏡9和出射狹縫10之間還分別設(shè)置一消雜光陷阱7。以實現(xiàn)有效地抑制單色儀的雜光水平。