[發明專利]用于凹球面器件旋涂光刻膠的輔助裝置

無效

• 申請號: 200810050937.4
• 申請日: 2008-07-08
• 公開（公告）號: CN101311831A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 馮曉國;趙晶麗;梁鳳超;高勁松
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所
• 代理人: 趙炳仁

1.一種用于凹球面器件旋涂光刻膠的輔助裝置，其特征在于，由可穿置 連接在涂膠機旋轉軸上的具有豎直周緣壁的底盤(1)和旋扣式連接在底盤(1) 周緣壁上的蓋板(2)構成，在所述底盤(1)周緣壁的下部設有至少三個均 布的臺肩(11)；所述的蓋板(2)頂部中心設有一垂向通孔，在該通孔中通 過彈簧(5)設置一可使之上下滑動的滑動軸(4)，該滑動軸(4)的下端固 設一弧形壓板(3)。

2.根據權利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻膠的輔助裝置，其特 征在于，是通過對應設置在底盤(1)周緣壁上的耳柱(8)和蓋板(2)周壁 上的倒L形滑槽(21)實現蓋板(2)和底盤(1)的旋扣式連接。

3.根據權利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻膠的輔助裝置，其特 征在于，在所述底盤(1)周緣壁下部的臺肩(11)根部設有導流槽(12)。