[發(fā)明專利]一種生產電子級氫氟酸的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810049661.8
• 申請日: 2008-04-28
• 公開（公告）號: CN101570318A
• 公開（公告）日: 2009-11-04
• 發(fā)明（設計）人: 皇甫根利;侯紅軍;劉海霞;張良;劉曉霞
• 申請（專利權）人: 多氟多化工股份有限公司
• 主分類號: C01B7/19
• 分類號: C01B7/19
• 代理公司: 鄭州聯(lián)科專利事務所（普通合伙）
• 代理人: 陳 浩

1.一種生產電子級氫氟酸的方法，其特征在于：具體包括以下步驟：

(1)粗餾：經計量的無水氫氟酸原料經預熱后，進行粗餾，去除低沸點 物質；

(2)吸收：將經粗餾后，從冷凝器出口排出的氫氟酸用超純水進行吸收， 塔釜溫度為40～60℃，塔身溫度為40～50℃，冷凝器出口溫度為20～40℃， 冷凝后的液體為48～49％的有水氫氟酸溶液；

(3)氟塑脂亞沸蒸餾器精餾：將吸收好的氫氟酸半成品經氟塑脂亞沸蒸 餾器蒸餾，溫度為60～80℃，氟化氫液體氣化生成超純的電子級氫氟酸氣體， 冷凝后為48～49％的有水氫氟酸溶液，高沸點物質與重金屬留在氟塑脂亞沸 蒸餾器底部；

(4)膜過濾：從氟塑脂亞沸蒸餾器出來的氫氟酸半成品經二級過濾最后 經自動灌裝制成48％的超高純氫氟酸成品；

其中，所述步驟(1)的具體步驟為：將計量后的無水氫氟酸原料自貯瓶 內流出，經預熱器預熱后進入粗餾釜，在粗餾釜內，控制粗餾釜內壓力小于 0.2MPa，加入氧化劑，其加入量占無水氫氟酸原料重量的0.5～2.5％，使工業(yè) 無水氟化氫中含有的大量二氧化硫和三氟化砷生成難以揮發(fā)的化合物；然后 加入重量濃度為30％的過氧化氫，過氧化氫的加入量占工業(yè)無水氟化氫的1～ 3％，在粗餾塔釜內溫度為30-50℃，塔頂冷凝器出口溫度為10-19℃；所 述的氧化劑為高錳酸鉀溶液、(NH₄)₂S₂O₈或KHF₂中的一種或其組合；

所述步驟(4)的過濾具體為：在百級超凈間經一級0.2μm微孔濾膜過 濾后，再進入二級0.05μm微孔濾膜過濾。