[發明專利]一種熱鍵合裝置

有效

• 申請號: 200810048431.X
• 申請日: 2008-07-16
• 公開（公告）號: CN101332974A
• 公開（公告）日: 2008-12-31
• 發明（設計）人: 甘志銀;張廷凱
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: B81C3/00
• 分類號: B81C3/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心
• 代理人: 曹葆青

1.?一種熱鍵合裝置，包括外腔(1)，外腔(1)上部設有加壓裝置(25)，加壓裝置(25)底端伸入外腔(1)內并依次連接隔熱墊板(21)和上加熱器(20)，另有真空獲得系統(19)、氣路接口(24)、真空檢測儀表(23)和高壓檢測儀表(22)分別與外腔(1)相接，其特征在于，還包括位于外腔(1)底部的基座(2)，基座(2)中間部分為凸臺，凸臺內有均勻分布的沉孔，沉孔內放置彈簧(3)，在彈簧(3)伸出凸臺的一端上放置球頭小柱(4)，在球頭小柱(4)上放置隔熱板(7)，在基座(1)

上均勻放置三個限位桿(5)，限位桿(5)上部分緊靠隔熱板(7)側壁；隔熱板(7)上放置下加熱器(8)；

在基座(1)凸臺兩側設有兩支撐架(6)，中間部分為空的工作臺基板(10)通過滑軌(9)固定于兩支撐架(6)之間；在工作臺基板(10)空心部分四周均勻設置三個導桿(14)，導桿(14)上套有下彈簧(11)，用于支撐下工作臺機構；

下工作臺機構由與下彈簧(11)頂端相接觸的下工作臺托架(12)和位于托架(12)上的下工作臺(17)構成，下工作臺托架(12)的底部正好位于工作臺基板(10)空心區域，該底部采用高導熱絕緣材料，邊沿處添設隔熱墊圈(18)；

在下彈簧(11)與下工作臺托架(12)接觸處上端的導桿(14)上套有上彈簧(13)，用于支撐上工作臺機構；

上工作臺機構由上工作臺托板(15)和固定于上工作臺托板下端面的上工作臺(16)構成，上工作臺(16)與下工作臺(17)位置相對應。