[發(fā)明專利]改善太陽能電池擴(kuò)散的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810046966.3 | 申請日： | 2008-02-29 |
| 公開（公告）號： | CN101237010A | 公開（公告）日： | 2008-08-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫永明;丁孔奇;李樹貴;周煒;熊光宇;徐俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 珈偉太陽能（武漢）有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 武漢宇晨專利事務(wù)所 | 代理人： | 王敏鋒 |
| 地址： | 430063湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 改善 太陽能電池 擴(kuò)散 方法 | ||
1、一種改善太陽能電池擴(kuò)散的方法，其步驟是：
A、采用硅原料，導(dǎo)電類型P型，厚度280um～310um，電阻率0.5～10Ωcm；
B、擴(kuò)散：硅片在800-900℃氣氛中與氧氣，三氯氧磷發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯氣，方程式如下：
Si+O2＝SiO2；
5POCl3＝3PCl5+P2O5；
4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；
2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；
擴(kuò)散過程氣體流量：
大氮20～35L/min；小氮1.6～2.5L/min；氧氣2.0～3.5L/min；
持續(xù)時間20～40min；
C、通氧再分布，擴(kuò)散B步驟后，再通入氧氣1～4L/min，與未消耗完的PCl5繼續(xù)反應(yīng)生成磷：
4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2↑；
2P2O5+5Si＝5SiO2+4P；
磷原子繼續(xù)擴(kuò)散，溫度控制在830℃～900℃；氣體流量：大氮20～35L/min；停止通小氮；氧氣1～4L/min；持續(xù)時間5～15min；
D、與再分布相結(jié)合的磷原子Drive?in過程：
通氧再分布過程結(jié)束后，繼續(xù)通入大氮20～35L/min；停止通小氮和氧氣；持續(xù)時間8～20min；溫度控制在830℃～900℃；
E、經(jīng)過上述B、C、D步驟擴(kuò)散，再分布和Drive?in過程之后表面方塊電阻為28～38Ω/□。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
