[發明專利]衍射光柵組件及制作方法無效
| 申請號： | 200810046611.4 | 申請日： | 2008-01-04 |
| 公開（公告）號： | CN101329419A | 公開（公告）日： | 2008-12-24 |
| 發明（設計）人： | 周其紅;王煒;范利康 | 申請（專利權）人： | 華工科技產業股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;B08B3/12;G03F7/00;C23C14/24;G11B7/12 |
| 代理公司： | 武漢開元專利代理有限責任公司 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430223湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 衍射 光柵 組件 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1、衍射光柵組件，由衍射光柵玻璃基片、含光軸的1/4波長板和保護玻璃，其特征在于：把衍射光柵玻璃基片、含光軸的1/4波長板和保護玻璃用紫外UV光固化膠依次膠合在一起，且衍射光柵的光柵條方向與1/4波長板光軸的夾角為45°±10°之間。
2、衍射光柵組件制作方法，按以下步驟進行：
(1)、基片清洗：采用超聲波清洗工藝，將玻璃基片表面清洗干凈；
(2)、光刻：在玻璃基片表面均勻涂上光刻膠，通過掩膜曝光的方式，將相應的衍射光柵圖形復制到光學玻璃表面；
(3)、真空鍍膜：通過離子束蒸發沉積，將SiO2膜料均勻鍍在帶衍射光柵圖形的玻璃基片上，再用清洗液洗掉殘留光刻膠，并形成凸凹不平的結構的衍射光柵玻璃基片；
(4)、膠合：通過紫外UV光固化膠，將第(3)步的衍射光柵玻璃基片和1/4波長板粘合在一起，并在波長板另一面粘接一塊保護玻璃；
(5)、劃切成型：通過劃切方式分割成相應形狀和尺寸的衍射光柵組件。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于華工科技產業股份有限公司，未經華工科技產業股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200810046611.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：LED裝飾燈泡的改進結構
- 下一篇：光耦隔離控制接口電路結構
