[發明專利]一種大氣等離子體圓柱形微波激勵腔

無效

• 申請號: 200810046268.3
• 申請日: 2008-10-13
• 公開（公告）號: CN101378616A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 童玲;陳彥;張兆鏜;田雨
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30;H01J37/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，包括工作于TM₀₁₀模式的圓柱形諧振腔，輸入波導與波導法蘭盤；圓柱形諧振腔由圓筒(1)、腔體頂蓋(2)和腔體底蓋(3)構成；所述圓筒(1)側壁上開有微波耦合窗口(9)；輸入波導(11)一端與波導法蘭盤(12)相連，另一端與開了微波耦合窗口(9)的圓筒側壁固定相連；腔體頂蓋(2)和腔體底蓋(3)中心處均開有圓孔，腔體頂蓋(2)中心圓孔上方具有腔體頂部金屬圓筒(4)，腔體底蓋(3)中心圓孔下方具有腔體底部同軸線外導體(5)；腔體底部同軸線外導體(5)底部為中心開孔的短路板，側壁底部具有切向進氣孔(7)；腔體底部同軸線外導體(5)內部通過其中心開孔放置有同軸中空內導體(6)。

2、根據權利要求1所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述圓筒(1)側壁上開孔并安置一調諧螺栓(8)，當微波源振蕩頻率有所偏移時，通過調整調諧螺栓(8)的進入腔體的深度來獲得正確的諧振。

3、根據權利要求1所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述頂部金屬圓筒(4)和底部同軸線外導體(5)中放置一石英玻璃管(13)。

4、根據權利要求1所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述圓筒(1)側壁上開有3至5個觀測孔(10)。

5、根據權利要求1所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述切向進氣孔(7)的數目為2至4個。

6、根據權利要求1所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述圓柱形微波激勵腔采用純銅制作，內表面鍍銀。

7、根據權利要求1至6所述的大氣等離子體圓柱形微波激勵腔，其特征在于，所述腔體圓筒(1)內徑為92～96mm，壁厚為6～8mm，高度為50～80mm；所述頂部金屬圓筒(4)的內徑為24至28mm；所述底部同軸線外導體(5)的內徑為24至28mm，外徑為30至34mm；所述同軸中空內導體(6)的直徑為8至10mm，內有3mm的通孔；所述耦合窗口(9)的形狀為孤面矩形，其尺寸為c×d＝45×26mm；所述觀察孔(10)孔徑為3mm，沿軸向1字形排列；所述石英玻璃管(13)的內徑為20至24mm，外徑為23至27mm；所述輸入波導(11)為BJ26，其寬邊長a＝86.4mm，窄邊長b＝43.2mm；所述法蘭盤(12)為標準的FD26；所述切向進氣孔(7)孔徑為8mm。