[發明專利]正性光敏聚酰亞胺光刻膠用顯影液有效
| 申請號： | 200810046081.3 | 申請日： | 2008-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN101359189B | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 蔣亞東;唐先忠;王濤;王軍 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610054 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光敏 聚酰亞胺 光刻 顯影液 | ||
【權利要求書】：
1.正性光敏聚酰亞胺光刻膠用顯影液，其組分包括強堿性化合物、水溶性酰胺類化合物、非離子表面活性劑、水溶性醇或醇醚類化合物和剩余量的水；
所述強堿性化合物為氫氧化鈉或氫氧化鉀，其含量為15.0～25.0wt％；
所述水溶性酰胺類化合物為乙酰胺、丙酰胺或N，N-二甲基甲酰胺；若為乙酰胺，其含量為2.0～3.0wt％；若為丙酰胺，其含量為1.5～2.5wt％；若為N，N-二甲基甲酰胺，其含量為2.5～3.0wt％；
所述非離子表面活性劑的含量為0.01～3.0wt％；
所述水溶性醇或醇醚類化合物為乙醇或丙醇，其含量為2.0～3.0wt％。
2.根據權利要求1所述的正性光敏聚酰亞胺光刻膠用顯影液，其特征是，所述非離子表面活性劑為具有下述結構式的烷基酚聚氧乙烯醚類聚合物中的至少一種：
式中R1選自H+、碳原子數1～12的烷基、芳基、芳烷基或鹵素基，R2選自H+、碳原子數1～12的烷基或芳基，n為6～25的整數。
3.根據權利要求2所述的正性光敏聚酰亞胺光刻膠用顯影液，其特征是，所述非離子表面活性劑為壬基酚聚氧乙烯醚NP-10、NP-16和辛基酚聚氧乙烯醚OP-10或它們的組合物。
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