[發明專利]一種樂甫波傳感器PMMA波導膜的旋涂制備方法無效
| 申請號： | 200810045646.6 | 申請日： | 2008-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN101412018A | 公開（公告）日： | 2009-04-22 |
| 發明（設計）人： | 蔣亞東;杜曉松;胡佳 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | B05D1/36 | 分類號： | B05D1/36;B05D7/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610054四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 樂甫波 傳感器 pmma 波導 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1、一種樂甫波傳感器PMMA波導膜的旋涂制備方法，其特征在于，采用1，2-二氯乙烷為溶劑配制濃度為1-5wt％的PMMA溶液，經多次旋涂達到所需的波導厚度。
2、根據權利要求1所述的樂甫波傳感器PMMA波導膜的旋涂制備方法，其特征在于，旋涂次數為5-20次。
3、根據權利要求1所述的樂甫波傳感器PMMA波導膜的旋涂制備方法，其特征在于，PMMA波導膜厚度為1～3μm。
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