[發明專利]具承載裝置搬移裝置的太陽能晶圓分類系統

有效

• 申請號: 200810043702.2
• 申請日: 2008-08-12
• 公開（公告）號: CN101648186A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 林漢聲
• 申請（專利權）人: 中茂電子（深圳）有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B65G49/07;B65G47/91
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁紀鐵

1.一種具承載裝置搬移裝置的太陽能晶圓分類系統，其特征是，該分類 系統包含：

形成有復數承載位置的基座；

設置于該基座，供傳送汲取太陽能晶圓的傳送汲取裝置；

復數分別置于承載位置，承接傳送汲取裝置釋放的太陽能晶圓的承載裝 置；

用于堆棧復數承載裝置并具有預定端部位置，當位于預定端部位置的承 載裝置自堆棧中被移出時，升降其余承載裝置至該預定端部位置的供應裝置；

用于堆棧復數承載裝置并具有預定收納位置，當預定收納位置被置入承 載裝置時，移動其余承載裝置使該預定收納位置被空出的收納裝置；

用于將承載裝置在預定端部位置、承載位置及預定收納位置間搬移的搬 移裝置。

2.根據權利要求1所述的太陽能晶圓分類系統，其特征是，承載位置被 區分為復數組，且傳送汲取裝置包括沿一個流向傳送太陽能晶圓的傳送器和 自該傳送器汲取太陽能晶圓的汲取器。

3.根據權利要求1所述的太陽能晶圓分類系統，其特征是，承載位置被 區分為復數組，且傳送汲取裝置包括沿一個流向傳送太陽能晶圓的傳送器和 復數組數目對應于承載裝置分組數目、與該傳送器流向夾一個角度設置、自 該傳送器汲取太陽能晶圓的汲取器。

4.根據權利要求1、2或3所述的太陽能晶圓分類系統，其特征是，該搬 移裝置包括復數分別對應承載位置、在承載位置及復數對應承載位置的搬移 位置間升降承載裝置的升降器和至少一組貫穿搬移位置中復數搬移位置的輸 送帶。

5.根據權利要求1、2或3所述的太陽能晶圓分類系統，其特征是，還包 含當供應裝置及/或收納裝置中堆棧的承載裝置達到預定數量時發出警示的 警示裝置。

6.根據權利要求1、2或3所述的太陽能晶圓分類系統，其特征是，還包 含驅動傳送汲取裝置、供應裝置、收納裝置和搬移裝置的處理裝置。