[發明專利]自動化控制系統及其控制方法

有效

• 申請號: 200810043626.5
• 申請日: 2008-07-10
• 公開（公告）號: CN101625565A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 周百鈞
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 陳 平

技術領域

本發明涉及一種集成電路生產線的自動化控制系統，為此本發明還涉 及一種基于上述系統的控制方法。

背景技術

在現有的集成電路生產線的CIM/CAM(Computer?Integrated? Manufacture/Computer?Auxiliary?Manufacture，計算機輔助制造)等自動 化控制系統中，由于設備狀態(正常/故障)和作業質量(作業時間、作業 穩定性、制成品的工藝品質)的變化頻繁且隨機，控制系統很難自動且有 效地分配作業，因此常常對集成電路生產線上的設備利用率及制成品的品 質造成顯著影響。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種自動化控制系統的控制方法，該 控制方法可以提高集成電路生產線上的設備使用率及制成品的品質。

為解決上述技術問題，本發明自動化控制系統的控制方法，所述自動 化控制系統包括控制中心、通信終端和生產設備，所述控制中心連接一個 或多個通信終端；每個通信終端連接一臺或多臺生產設備；所述控制中心 與通信終端之間、通信終端與生產設備之間的連接為局域網連接、總線連 接、點對點連接、無線連接中的一種或多種；所述自動化控制系統的控制 方法包括如下步驟：

第1步，所述生產設備向通信終端提交作業請求；

第2步，所述通信終端設定各生產設備的優先級，并按優先級由高至 低的順序向控制中心提交作業請求；

所述通信終端按照如下方法設定生產設備的優先級：將生產設備的優 先級設為P＝K₁×(1-F)^m+K₂×Qⁿ，其中F為故障率、Q為作業質量，K₁、m為 調節生產設備狀態的權重系數，K₂、n為調節作業質量的權重系數，且K₁、 K₂、m、n均為大于等于零的實數；

當多臺生產設備同時提交作業請求，且優先級高的生產設備的利用率 低于預先設定的數值時，所述通信終端屏蔽或延遲提交優先級低的生產設 備的作業請求；

當多臺生產設備同時提交作業請求，且優先級高的生產設備的利用率 大于或等于預先設定的數值時，所述通信終端先提交多臺生產設備的相同 數量的端口的作業請求，同時屏蔽或延遲提交多臺生產設備的其余端口的 作業請求；

當多臺具有相同或相近的優先級的生產設備同時提交作業請求時，所 述通信終端先提交多臺生產設備的相同數量的端口的作業請求，同時屏蔽 或延遲提交多臺生產設備的其余端口的作業請求；

第3步，所述控制中心根據各通信終端提交的作業請求向所述通信終 端下達作業指令，所述通信終端根據各生產設備提交的作業請求向所述生 產設備下達作業指令。

本發明通過優先提交故障率低、作業質量高的生產設備的作業請求， 從而將作業優先分配給故障率低、作業質量高的生產設備，這有利于提高 制成品品質。本發明還能平衡分配多個生產設備的作業，從而提高了設備 利用率。

附圖說明

下面結合附圖與具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明：

圖1是本發明自動化控制系統的結構示意圖；

圖2是本發明自動化控制系統的控制方法的流程圖；

圖3是本發明自動化控制系統的控制方法的流程圖二。

圖中的附圖標記為：1-控制中心；2-通信終端；3-生產設備。

具體實施方式

請參閱圖1，本發明自動化控制系統包括控制中心1、通信終端2和生 產設備3。其中，控制中心1用于負責對集成電路生產線上的生產設備3及 工藝流程實行自動控制及運行管理(具體包括設備工藝條件管理，制品調度 等)。通信終端2用于對各生產設備3進行實時監控。控制中心1連接一個 或多個通信終端2，每個通信終端2連接一臺或多臺同類或不同類的生產設 備3。控制中心1與通信終端2之間、通信終端2與生產設備3之間的連接 為局域網連接、總線連接、點對點連接、無線連接中的一種或多種。所述 局域網連接至少包括基于TCP/IP協議的以太網連接，所述點對點連接至少 包括采用RS232接口(串口)的點對點連接，所述無線連接至少包括采用 藍牙通訊技術的無線連接。

請參閱圖2，基于上述自動化控制系統的控制方法包括如下步驟：