[發(fā)明專利]制造液晶顯示面板用掩模板

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810043278.1
• 申請日: 2008-04-22
• 公開（公告）號: CN101566790A
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發(fā)明（設計）人: 汪梅林
• 申請（專利權(quán)）人: 上海天馬微電子有限公司
• 主分類號: G03F1/14
• 分類號: G03F1/14;G03F1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩模板，包括多個單元產(chǎn)品掩模圖形，用于液晶顯示面板制造的光刻工藝，其中所述單元產(chǎn)品掩模圖形包括開孔，并且所述開孔的孔邊緣形成多個非規(guī)則直線圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其中所述孔邊緣的非規(guī)則直線圖形為三角形、正方形或半圓形的任一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板，其中所述非規(guī)則直線圖形的尺寸以及間距小于制造液晶顯示面板的曝光機的曝光精度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板，其中所述非規(guī)則直線圖形的尺寸以及間距小于3μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的掩模板，其中所述非規(guī)則直線圖形的尺寸為所述三角形底邊、所述正方形邊長和所述半圓形的直徑中的任一個。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其中所述孔邊緣的非規(guī)則直線圖形為兩個或兩個以上與所述開孔的各邊平行的細線條框。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板，其中所述細線條框的寬度，所述細線條框與所述開孔之間的間距，以及所述細線條框之間的間距小于制造液晶顯示面板的曝光機的曝光精度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板，其中所述細線條框的寬度，所述細線條框與所述開孔之間的間距，以及所述細線條框之間的間距均小于3μm。