[發(fā)明專利]具有銀薄膜的抑菌基材及其制造方法和制備裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810043270.5
• 申請日: 2008-04-17
• 公開（公告）號: CN101275215A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設計）人: 張錫強
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州工業(yè)園區(qū)鴻錦納米有限公司
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/54
• 代理公司: 北京瑞盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王友彭

1、一種具有銀薄膜的抑菌基材，包括基材，其特征在于：所述基材上濺鍍有20-40nm的銀薄膜，具有抑菌功能。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有銀薄膜的抑菌基材，其特征在于：所述的基材選自纖維材料和塑膠材料。

3、一種具有銀薄膜的抑菌基材的制造方法，包括以下步驟：

1)濺鍍準備：在預抽腔前將基材放置于可傳動的載具上，打開預抽腔，將基材送進預抽腔內(nèi)。將預抽腔的壓力抽至10^-4托后，基材在此等侍；一旦濺鍍腔內(nèi)送出已濺鍍過的基材后，即可開腔讓待鍍之基材進入；

2)濺鍍形成納米級銀薄膜：在濺鍍腔中設置一濺鍍靶源，此濺鍍靶源上放置靶材；當基材傳動至濺鍍腔內(nèi)后，即可關閉腔門開始抽氣；當壓力達到10×10^-6～6×10^-6托時，即可充入惰性氣體氬，并通過預定功率的電流使其形成Ar⁺電漿；當Ar⁺被加速往銀靶材上撞擊后，它們能將銀原子轟擊濺出，并沉積附著在底材的表面，形成納米級的銀薄膜；

3)送出成品：濺鍍完后，即可開腔將基材向另一預抽腔送出。

步驟2)中所述的預定功率為5～20kw及基材轉(zhuǎn)動的速度為1～10米/分的條件下，所得的銀薄膜的厚度為20～40nm，均勻的分布在被鍍之基材上。

4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有銀薄膜的抑菌基材的制造方法，其特征在于：步驟2)中所述的靶材為銀靶材或氧化銀靶材。

5、根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有銀薄膜的抑菌基材的制造方法，其特征在于：步驟2)中所述的氣體為氬氣，流量為1～10mtorr。

6、根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有銀薄膜的抑菌基材的制造方法，其特征在于：基材與靶材的面積比是4∶5兩者間的距離為3～7cm。

7、一種制造具有銀薄膜的抑菌基材的裝置，其特征在于：包括預抽腔和濺鍍腔，所述的預抽腔設置于兩端，中間為濺鍍腔，預抽腔與濺鍍腔相連通；載具水平貫通于預抽腔和濺鍍腔，并通過傳動軸傳動，將基材連載到下一個腔體；所述的預抽腔上設置有抽氣機構(gòu)，所述的抽氣機構(gòu)自腔體向外依次為氣閥、魯式泵和旋轉(zhuǎn)泵；所述的濺鍍腔上設置有抽氣機構(gòu)，所述的抽氣機構(gòu)自腔體向外依次為渦輪泵、氣閥、魯式泵和旋轉(zhuǎn)泵；在濺鍍腔上還設有管道與氬氣源相通，濺鍍腔與氬氣源之間由氣閥控制。預抽腔的主要目的是當濺鍍腔在工作時，它可預抽空氣，縮短將濺鍍腔抽氣的時間。

8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種制造具有銀薄膜的抑菌基材的裝置，其特征在于：所述載具材質(zhì)為鋁合金，通過齒輪傳動。