[發明專利]低熱效應投影物鏡

有效

• 申請號: 200810042738.9
• 申請日: 2008-09-10
• 公開（公告）號: CN101354476A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 武珩;儲兆祥;趙濱
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20;G02B27/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種低熱效應投影物鏡，包括從物方到像方沿光軸依次排列的第一至第十二透鏡，所述第六和第七透鏡之間設有光闌，所述第一至第六透鏡與所述第十二至第七透鏡關于所述光闌對稱；其特征在于：所述第一、第二透鏡具有負光焦度，所述第三、第四透鏡具有正光焦度，所述第五、第六透鏡組成正負光焦度組合；所述的十二片透鏡中，全部采用了10mm內部透光率達到0.999的材料制成，且所述的十二片透鏡均不包含非球面表面，熱效應敏感度系數KLT/LH相對最大的第五塊鏡片使用CAF2材料。

2.根據權利要求1所述的投影物鏡，其特征在于：所述第一、第二透鏡組成負光焦組；所述第一透鏡為雙凹透鏡，使用SILICA材料制成；所述第二透鏡為凹面正對物面的彎月型透鏡，使用BSL7Y材料制成。

3.根據權利要求1所述的投影物鏡，其特征在于：所述第三、第四透鏡組成正光焦組；所述第三透鏡為近似平凸透鏡，其曲率較小的一面朝向物方，使用BSL7Y材料制成；所述第四透鏡為雙凸透鏡，使用BSL7Y材料制成。

4.根據權利要求1所述的投影物鏡，其特征在于：所述第五透鏡為雙凸透鏡，使用CAF2材料制成；所述第六透鏡為雙凹透鏡，使用PBL1Y材料制成。