[發明專利]一種橢偏測量的方法及其裝置

有效

• 申請號: 200810042435.7
• 申請日: 2008-09-03
• 公開（公告）號: CN101666626A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 黨江濤;潘寧寧;高海軍
• 申請（專利權）人: 睿勵科學儀器（上海）有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/21
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 羅 朋

1.一種基于橢圓偏振技術的對待測表面的由電磁波探測到的特性信息進行確定的方法，其中，包括如下步驟：

i.根據固定起偏方位角來對光線進行起偏，以得到偏振光；

ii.將所述偏振光照射在所述待測表面上，以得到經所述待測表面反射、和/或透射、和/或衍射后的特征光；

iv.根據固定檢偏方位角來對所述特征光中的一個或多個進行檢偏，分離出所述一個或多個特征光各自的p分量和s分量；

v.分別檢測所述特征光的p分量和s分量的光強，以得到與所述待測表面相對應的一組p分量和s分量的光強信息，并獲取其之間的相位關系信息；

還包括：

I.對所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定檢偏方位角中的未知項進行定標，以得到經確定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定檢偏方位角；

a.基于所得到的與所述待測表面相對應的一組光強信息，以及所述經確定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述固定檢偏方位角，來根據預定方式確定所述待測表面的由電磁波探測到的所述特性信息；

其中，所述步驟I包括：

I1.根據所述固定起偏方位角來對所述光線進行起偏，以得到偏振光；

I2.將所述偏振光照射在特性信息已知的參考表面上；

I3.根據所述固定檢偏方位角來對所述表面反射、和/或透射、和/或衍射來的特征光進行檢偏，分離出所述特征光的p分量和s分量；

I4.分別檢測所述特征光的p分量和s分量的光強，以得到與所述參考表面相對應的一組光強信息；

I5.將所述參考表面更換為另一個參考表面，重復步驟I1至I4，直至已獲得一組或多組與各個參考表面相對應的光強信息滿足第一預定條件；

其中，所述步驟I還包括：

-根據所述已獲得的一組或多組與各個參考表面相對應的光強信息，利用預定的定標方法來對所述固定起偏方位角，所述偏振光的入射角，和所述固定檢偏方位角中的未知項進行定標，以得到經確定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角、所述固定檢偏方位角。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟ii之后，步驟iv之前，還包括：

iii.將經所述待測表面反射、和/或透射、和/或衍射后的所述特征光進行分光，以生成預定數量個與所述待測表面相對應的分光；

其中，所述步驟iv還包括：

-根據預定數量個固定檢偏方位角來對所述預定數量個與所述待測表面相對應的分光分別進行檢偏，分離出各個與所述待測表面相對應的分光各自的p分量和s分量；

其中，所述步驟v還包括：

-分別檢測與所述待測表面相對應的各個分光的p分量和s分量的光強，以得到與所述待測表面相對應的一組光強信息，并獲取各個對應p分量和s分量之間的相位關系信息。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟a之前還包括：

O.對所述預定數量個固定檢偏方位角，所述固定起偏方位角，和所述偏振光的入射角中的未知項進行定標，以得到經確定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角以及所述預定數量個固定檢偏方位角；

所述步驟a還包括：

a1.根據所述經確定的所述固定起偏方位角、所述偏振光的入射角和所述預定數量個固定檢偏方位角，根據所述預定方式確定所述待測表面的由電磁波探測到的特性信息。