[發明專利]基于金屬層反射的反射式石英偏振分束光柵無效

申請號：	200810041806.X	申請日：	2008-08-18
公開（公告）號：	CN101344604A	公開（公告）日：	2009-01-14
發明（設計）人：	周常河;鄭將軍	申請（專利權）人：	中國科學院上海光學精密機械研究所
主分類號：	G02B5/18	分類號：	G02B5/18;G03F7/00
代理公司：	上海新天專利代理有限公司	代理人：	張澤純
地址：	201800上***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	基于金屬反射石英偏振光柵
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【權利要求書】：

1、一種用于1550納米波段的基于金屬層反射的反射式石英偏振分束光柵，其特征在于由石英基底(1)、銀層(2)、石英連接層(3)和矩形光柵(4)一體構成，該矩形光柵(4)的周期為880納米，占空比為0.5，銀層(2)的厚度為100納米，光柵刻蝕深度為950納米～1276納米，石英連接層(3)的厚度為337納米～375納米。

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