[發明專利]光刻工藝的監控方法及系統

有效

• 申請號: 200810041567.8
• 申請日: 2008-08-11
• 公開（公告）號: CN101650533A
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發明（設計）人: 楊曉松;劉洪剛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所（普通合伙）
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種光刻工藝的自動監控方法，用于光刻工藝裝置中執行的工序單元時間參 數的監控，其特征在于，它包括以下步驟：

a、采集工序單元動作的時間，其是通過所述光刻工藝裝置工序單元識別碼采集 工序單元動作的時間；其中，所述工序單元的識別碼包括光刻工藝裝置：輔助 裝置和曝光裝置，執行的工序單元識別碼；所述輔助裝置執行若干種工序單元， 各工序單元具有發生或結束的動作；所述輔助裝置的工序單元識別碼包括工序 單元種類識別碼和工序單元動作碼；b、存儲工序單元動作的時間；c、判斷動 作的工序單元是否為監控工序單元，其中，若為監控工序單元，執行步驟d，若 否，則執行步驟a；d、按監控時間參數與監控的工序單元動作時間的關系式， 計算監控時間參數；e、判斷步驟d計算出的監控時間參數是否符合標準時間范 圍，其中若不符合標準時間范圍則暫停監控的工序單元。

2.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，所述步驟b存 儲工序單元動作的時間時對應存儲所述工序單元的識別碼。

3.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，所述步驟c判 斷動作的工序單元是否為監控工序單元是通過判斷動作的工序單元的識別碼是 否為監控工序單元的識別碼。

4.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，所述工序單元 種類識別碼為十六進制的四位數，所述工序單元動作碼為十六進制的兩位數。

5.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，所述曝光裝置 執行曝光工序單元；所述曝光工序單元識別碼為曝光工序單元結束編碼。

6.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，監控時間參數 為上后烤工序單元持續時間時，所述監控工序單元為光刻工藝裝置中輔助裝置 的上后烤工序單元，所述步驟d監控時間參數與監控工序單元動作時間的關系 式為上后烤工序單元持續時間等于上后烤工序單元的結束動作的時間減去上后 烤工序單元發生時間。

7.如權利要求1所述的光刻工藝的自動監控方法，其特征在于，監控時間參數 為曝后烤延遲時間時，所述監控工序單元為光刻工藝裝置中輔助裝置的曝后烤 工序單元，所述步驟d監控時間參數與監控工序單元動作時間的關系式為曝后 烤工序單元延遲時間等于曝后烤工序單元發生時間減去曝光工序單元結束時 間。

8.一種光刻工藝的自動監控系統，用于光刻工藝裝置中執行的工序單元的時間 參數監控，其特征在于，包括：

數據采集模塊，用于工序單元動作時采集所述工序單元動作的時間；

數據存儲模塊，用于存儲數據采集模塊采集的工序單元動作的時間，其內還存 儲有待監控時間參數的標準時間范圍；

判斷模塊，用于判斷動作的工序單元是否為監控工序單元；

計算模塊，用于當判斷模塊判斷動作的工序單元為監控工序單元時，基于數據 存儲模塊存儲的工序單元動作的時間和監控時間參數與工序單元動作時間的關 系式計算監控時間參數；

比較模塊，用于判斷計算模塊計算出的監控時間參數是否符合所述數據存儲模 塊存儲的監控時間參數的標準時間范圍；

控制模塊，用于當比較模塊判斷計算模塊計算出的監控時間參數不符合標準時 間范圍時暫停監控工序單元的動作。

9.如權利要求8所述的自動監控系統，其特征在于，工序單元觸發模塊，用于 光刻工藝裝置動作時觸發所述數據采集模塊。

10.如權利要求9所述的自動監控系統，其特征在于，所述工序單元觸發模塊 通過所述光刻工藝裝置工序單元動作時的工序單元識別碼觸發數據采集模塊。

11.如權利要求10述的自動監控系統，其特征在于，所述數據存儲模塊還存儲 有工序單元動作時間對應的所述工序單元識別碼。

12.如權利要求10所述的自動監控系統，其特征在于，所述判斷模塊是基于工 序單元的識別碼是否為監控工序單元的識別碼進行判斷。