[發(fā)明專利]二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)及相應(yīng)的六自由度微動(dòng)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810041494.2
• 申請(qǐng)日: 2008-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN101349870A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 齊寧寧;齊芊楓;李志龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1、一種二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：基座，音圈電機(jī)，兩個(gè)水平直線電機(jī)，以及水平運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌；所述音圈電機(jī)和所述每個(gè)水平直線電機(jī)均具有定子和動(dòng)子；所述基座與音圈電機(jī)定子固定連接，所述音圈電機(jī)動(dòng)子通過氣浮解耦單元與所述水平運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌連接，所述兩個(gè)水平直線電機(jī)關(guān)于該二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的中心軸呈對(duì)稱布局，且兩個(gè)水平直線電機(jī)的定子均與基座固定連接，兩個(gè)水平直線電機(jī)的動(dòng)子與所述水平運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌固定連接。

2、如權(quán)利要求1所述的二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基座內(nèi)部安裝有環(huán)形氣浮墊，當(dāng)所述音圈電機(jī)動(dòng)子在基座內(nèi)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述氣浮墊起到導(dǎo)向作用。

3、如權(quán)利要求1所述的二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述氣浮解耦單元由相匹配的球形氣浮墊和球形萬向節(jié)組成，所述音圈電機(jī)動(dòng)子與球形氣浮墊之間形成一個(gè)氣缸減振結(jié)構(gòu)，所述球形萬向節(jié)可在水平導(dǎo)軌內(nèi)作相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

4、如權(quán)利要求1所述的二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述水平導(dǎo)軌與基座之間采用彈簧連接。

5、如權(quán)利要求1所述的二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述水平導(dǎo)軌還具有兩個(gè)突臺(tái)結(jié)構(gòu)。

6、一種六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，包括三個(gè)如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，且所述的三個(gè)二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)120°均布安裝于所述六自由度微動(dòng)臺(tái)的底座上。

7、如權(quán)利要求6所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述的三個(gè)二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其水平運(yùn)動(dòng)方向與所述六自由度微動(dòng)臺(tái)徑向重合。

8、如權(quán)利要求6所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述的三個(gè)二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其水平運(yùn)動(dòng)方向與所述六自由度微動(dòng)臺(tái)徑向垂直。

9、如權(quán)利要求6所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于，所述的三個(gè)二自由度電機(jī)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其水平運(yùn)動(dòng)方向與所述六自由度微動(dòng)臺(tái)徑向成一夾角。