[發明專利]二自由度電機執行機構及相應的六自由度微動臺

有效

• 申請號: 200810041494.2
• 申請日: 2008-08-07
• 公開（公告）號: CN101349870A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發明（設計）人: 齊寧寧;齊芊楓;李志龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1、一種二自由度電機執行機構，其特征在于，包括：基座，音圈電機，兩個水平直線電機，以及水平運動導軌；所述音圈電機和所述每個水平直線電機均具有定子和動子；所述基座與音圈電機定子固定連接，所述音圈電機動子通過氣浮解耦單元與所述水平運動導軌連接，所述兩個水平直線電機關于該二自由度電機執行機構的中心軸呈對稱布局，且兩個水平直線電機的定子均與基座固定連接，兩個水平直線電機的動子與所述水平運動導軌固定連接。

2、如權利要求1所述的二自由度電機執行機構，其特征在于，所述基座內部安裝有環形氣浮墊，當所述音圈電機動子在基座內運動時，所述氣浮墊起到導向作用。

3、如權利要求1所述的二自由度電機執行機構，其特征在于，所述氣浮解耦單元由相匹配的球形氣浮墊和球形萬向節組成，所述音圈電機動子與球形氣浮墊之間形成一個氣缸減振結構，所述球形萬向節可在水平導軌內作相對運動。

4、如權利要求1所述的二自由度電機執行機構，其特征在于，所述水平導軌與基座之間采用彈簧連接。

5、如權利要求1所述的二自由度電機執行機構，其特征在于，所述水平導軌還具有兩個突臺結構。

6、一種六自由度微動臺，其特征在于，包括三個如權利要求1至5中任一項所述的二自由度電機執行機構，且所述的三個二自由度電機執行機構120°均布安裝于所述六自由度微動臺的底座上。

7、如權利要求6所述的六自由度微動臺，其特征在于，所述的三個二自由度電機執行機構，其水平運動方向與所述六自由度微動臺徑向重合。

8、如權利要求6所述的六自由度微動臺，其特征在于，所述的三個二自由度電機執行機構，其水平運動方向與所述六自由度微動臺徑向垂直。

9、如權利要求6所述的六自由度微動臺，其特征在于，所述的三個二自由度電機執行機構，其水平運動方向與所述六自由度微動臺徑向成一夾角。