[發明專利]可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具及裝配方法

無效

• 申請號: 200810040610.9
• 申請日: 2008-07-16
• 公開（公告）號: CN101630120A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 袁克文
• 申請（專利權）人: 上海棱光實業股份有限公司
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00;C03B19/00;C03B23/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 徐偉奇

技術領域：

本發明涉及硬面光掩模基板制造領域以及光學玻璃加工領域，尤其是一種用于硬面光掩模基板制造過程中的承載清洗器具。

技術背景：

根據國家硬面光掩模基板標準，硬面光掩模基板標準長寬規格系列7項，標準厚度規格系列6項。這些不同規格產品要經過切割、研磨拋光和清洗制程，在生產過程中承載清洗器具對于簡化工序操作，減少脆性材料的破損，提高清洗效能有著關鍵性的影響。

現有技術中硬面光掩模基板承載清洗器具采用的是籃筐式結構，如圖1所示。籃筐式承載清洗架在實際使用中存在一些問題。首先，為了保證器具本身的固形要求，一般選擇有一定硬度的工程塑料，操作不當容易造成脆性材料工件損傷。其次，籃筐式承載清洗架的結構，特別是加強筋會阻擋水流，影響清洗效果。另外，籃筐式承載清洗架的插槽寬度固定，不同規格硬面光掩模基片需要使用不同規格承載清洗架，通用性差。

發明內容：

本發明所要解決的技術問題就是克服上述現有技術的不足，提供一種能夠簡化工序，降低工件損傷，提高清洗功效，使用方便靈活的硬面光掩模基板加工清洗承載清洗器具。該器具也可適用于光學玻璃加工領域。

具體的技術方案是：

一種可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具，由槽口架a1、導向定位桿a2組合而成，；

所述的槽口架a1由槽口板b1、筋板b2和b3通過固定件定位連接而成。在槽口板b1左右二面開有鏡向對稱槽c1和與對稱槽c1垂直貫通的底部條形槽c2；在槽口板b1左右二面端部開有供定位安裝導向定位桿a2的導向孔k1。

上述對稱槽c1是對稱梯形槽。對稱梯形槽c1和與之垂直貫通的底部條形槽c2組合，適合插入和支撐不同厚度的工件。

在上述槽口板b1底面開有貫穿槽口板b1長度方向上的長條凹槽c4，所述的筋板b3插入凹槽c4，以固定件連接槽口板b1與筋板b3。

在上述槽口板b1底面和頂面開有貫穿槽口板b1長度方向上的長條凹槽c3和c4，所述的筋板b2和b3分別插入凹槽c3和c4，筋板b2和b3使槽口架a1整體具有鋼性，不易變形，槽口板與筋板由固定螺釘b4固定。

在上述同導向孔k1左右二面垂直的槽口板b1端面開有定位銷孔k2，定位銷孔k2軸線與導向孔k1軸線互相垂直相交，定位銷b5與定位銷孔k2靜配合裝配；定位銷b5上的導向孔k3與槽口板b1左右二面端部導向孔k1同心裝配，定位銷b5通過定位孔K4與定位螺釘b6固定。

上述器具中還包括導向桿a3，在上述槽口板b1中部開有供安裝導向桿a3的導向孔k5，導向桿a3的一端有螺紋，通過緊固螺母a4與槽口架a1固定。

上述導向定位桿a2的端面為缺損圓形或圓形。

上述槽口架a1是聚四氟乙烯材料，導向定位桿a2和導向桿a3是不銹鋼材料，可根據需要制成各種長度。

一種可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具的裝配方法，選用適當長度的二根或多根導向定位桿a2，將二個或多個槽口架a1通過槽口架定位孔k1串聯，根據工件寬度尺寸，槽口架與槽口架之間間距可沿導向桿長度方向調整并用螺釘b6固定，合圍構成一個或多個平行并列有槽容置空腔。

一種可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具的裝配方法，選用適當長度的二根或多根導向定位桿a2和a3，將二個或多個槽口架a1通過槽口架定位孔k1和k5串聯，根據工件寬度尺寸，槽口架與槽口架之間間距可沿導向桿長度方向調整并用螺釘b6固定，合圍構成一個或多個平行并列有槽容置空腔。

本發明的有益效果：

相對于現有技術，所述承載清洗器具優點在于：一是器具通用性好，只要按工件的寬度規格調整好槽口架之間的間距，可以用于不同規格的工件承載清洗。二是靈活方便，不同規格工件可以同時組合清洗。三是整體不易變形，而槽口富有彈性，易于工件插入和固定，不易造成工件損傷。四是清洗過程中不會出現水流阻擋現象，可以增加待清洗工件和水流接觸，能有效提高工件的潔凈度和操作功效。

附圖說明：

圖1現有技術硬面光掩模基板制造承載清洗器具示意圖；

圖2本發明可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具示意圖；

圖3本發明可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具槽口架a1結構示意圖；

圖4本發明可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具導向定位桿a2、導向桿a3結構示意圖；

圖5、6本發明可調式硬面光掩模基板加工承載清洗器具裝配示意圖。

具體實施方式：