[發明專利]掩模版夾具有效
| 申請號： | 200810040365.1 | 申請日： | 2008-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN101625528A | 公開（公告）日： | 2010-01-13 |
| 發明（設計）人： | 徐曉敏;吳凌輝;金志銳 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李 麗 |
| 地址： | 201210*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 模版 夾具 | ||
1.一種操作掩模版的裝置，包括：
固定架，用于固定掩模版；
水平指示器，耦合至固定架，用于指示固定架的水平狀態；
軸，連接至固定架，使得人能夠把持該裝置；以及
開關，連接至軸，并且適合于控制固定架以固定掩模版。
2.根據權利要求1所述的操作掩模版的裝置，其特征在于，所述固定架的形狀呈U形。
3.根據權利要求1所述的操作掩模版的裝置，其特征在于，所述固定架具有一對向里移動以夾住掩模版的夾子。
4.根據權利要求1所述的操作掩模版的裝置，其特征在于，所述水平指示器為氣泡水平指示器。
5.根據權利要求1所述的操作掩模版的裝置，其特征在于，所述開關配置成鎖住或者開啟固定架。
6.一種操作掩模版的方法，包括：
使用固定架夾住掩模版，所述固定架包括開關以及水平指示器，所述水平指示器與固定架一起工作，用于指示固定架的水平狀態；以及
將掩模版裝載到掩模版盒內，同時利用水平指示器來保持固定架的水平狀態。
7.根據權利要求6所述的操作掩模版的方法，其特征在于，在掩模版上提供薄膜以保護掩模版。
8.根據權利要求6所述的操作掩模版的方法，其特征在于，所述固定架的形狀呈U形。
9.根據權利要求6所述的操作掩模版的方法，其特征在于，所述水平指示器為氣泡水平指示器。
10.根據權利要求6所述的操作掩模版的方法，其特征在于，所述開關被開啟以便鎖住掩模版固定架。
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