[發(fā)明專利]精密切割機(jī)臺(tái)樣品定位模板有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810039988.7 | 申請(qǐng)日： | 2008-07-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101620039A | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-01-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳強(qiáng);鄒麗君;葛挺鋒;江秀霞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N1/28 | 分類號(hào)： | G01N1/28;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 | 代理人： | 羅 朋 |
| 地址： | 201203*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 精密 切割 機(jī)臺(tái) 樣品 定位 模板 | ||
1.一種用于精密切割機(jī)臺(tái)的樣品定位模板，其特征在于，所述樣品定位模板由透明材料構(gòu)成，該透明材料構(gòu)成的樣品定位模板包括，
第一樣品孔(101)，
多個(gè)鏤空結(jié)構(gòu)的標(biāo)記窗(102)，所述多個(gè)標(biāo)記窗(102)中的每個(gè)用于確定一矩形，所述多個(gè)標(biāo)記窗(102)所確定的矩形以所述第一樣品孔(101)為中心，其兩邊與水平方向平行，兩邊與水平方向垂直；
所述樣品定位模板還包括，
第一輔助標(biāo)線(103)，該第一輔助標(biāo)線(103)包括與水平方向垂直的線條和/或與水平方向平行的線條；
第二輔助標(biāo)線(104)，該第二輔助標(biāo)線(104)包括與水平方向成45°角的線條。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品定位模板，其特征在于，還包括一個(gè)或任多個(gè)鏤空結(jié)構(gòu)的第二樣品孔(101’)，所述第二樣品孔(101’)形成于所述第一樣品孔(101)水平方向的兩側(cè)或豎直方向的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樣品定位模板，其特征在于，還包括第三輔助標(biāo)線(105)，所述第三輔助標(biāo)線(105)為垂直相交于所述第一樣品孔(101)處的十字交叉圖案，由一條水平方向的線段和一條豎直方向的線段組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樣品定位模板，其特征在于，還包括，輔助標(biāo)記窗(106)，所述輔助標(biāo)記窗(106)為豎直條狀的鏤空結(jié)構(gòu)，位于所述由多個(gè)標(biāo)記窗(102)所確定的矩形在水平方向上的兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樣品定位模板，其特征在于，所述標(biāo)記窗(102)包括其所確定的矩形圖案的四角。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司，未經(jīng)中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200810039988.7/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
