[發(fā)明專(zhuān)利]一種光刻膠清洗劑組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810039756.1
• 申請(qǐng)日: 2008-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101614970A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史永濤;彭洪修;曹惠英
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 安集微電子（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/42
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務(wù)所
• 代理人: 李佳銘

1.一種光刻膠清洗劑組合物，包含醇胺、水溶性極性有機(jī)溶劑和水， 其特征在于，還含有選自環(huán)己六醇磷酸酯和環(huán)己六醇磷酸鹽中的一種或幾 種，

其中，所述的環(huán)己六醇磷酸酯和/或環(huán)己六醇磷酸鹽的含量為 0.01～30wt％，所述的醇胺的含量為0.1～50wt％，所述的水溶性極性有機(jī)溶劑 的含量為1～95wt％，所述的水的含量為1～95wt％；

其中，所述的水溶性極性有機(jī)溶劑選自亞砜、砜、酰胺、咪唑烷酮和烷 基二醇單烷基醚中的一種或多種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 環(huán)己六醇磷酸酯選自環(huán)己六醇一磷酸酯、環(huán)己六醇二磷酸酯、環(huán)己六醇三磷 酸酯、環(huán)己六醇四磷酸酯、環(huán)己六醇五磷酸酯和環(huán)己六醇六磷酸酯中的一種 或多種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 環(huán)己六醇磷酸鹽為環(huán)己六醇磷酸銨鹽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 環(huán)己六醇磷酸銨鹽選自環(huán)己六醇一磷酸銨、環(huán)己六醇二磷酸銨、環(huán)己六醇三 磷酸銨、環(huán)己六醇四磷酸銨、環(huán)己六醇五磷酸銨和環(huán)己六醇六磷酸銨中的一 種或多種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 環(huán)己六醇磷酸酯和/或環(huán)己六醇磷酸鹽的含量為0.10～20.0wt％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 醇胺選自一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲 基乙醇胺、二甘醇胺和羥乙基乙二胺中的一種或多種。

7.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 醇胺的含量為5.0～35.0wt％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 亞砜選自二甲基亞砜、二乙基亞砜和甲乙基亞砜中的一種或多種；所述的砜 為甲基砜、乙基砜和環(huán)丁砜中的一種或多種；所述的咪唑烷酮選自2-咪唑烷 酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮和1，3-二乙基-2-咪唑烷酮中的一種或多種；所述 的酰胺選自甲酰胺、乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二乙基甲酰胺、N，N- 二甲基乙酰胺、2-吡咯烷酮、2-甲基吡咯烷酮和2-乙基吡咯烷酮中的一種或 多種；所述的烷基二醇單烷基醚選自二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二 乙二醇單丁醚、丙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚和二丙二 醇單丁醚中的一種或多種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 水溶性極性有機(jī)溶劑的含量為30～90wt％。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 水的含量為3～50wt％。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述的 光刻膠清洗劑組合物還包含季銨氫氧化物、表面活性劑和緩蝕劑中的一種或 多種。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光刻膠清洗劑組合物，其特征在于，所述 的季銨氫氧化物選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、 四丁基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種；所述的表面活性劑 選自聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮和聚氧乙烯醚中的一種或多種；所述的緩蝕 劑選自唑類(lèi)、膦酸類(lèi)和聚丙烯酸類(lèi)緩蝕劑中的一種或多種。