[發(fā)明專利]一種微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810039150.8 | 申請日： | 2008-06-18 |
| 公開（公告）號： | CN101320216A | 公開（公告）日： | 2008-12-10 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李仲禹 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 微光 明光 整形 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，包括依次光學連結(jié)的衍射光學元件、連續(xù)變焦透鏡組，其特征在于：還包括后接于所述連續(xù)變焦透鏡組的由兩個凸圓錐鏡組成的光瞳調(diào)節(jié)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的兩個凸圓錐鏡具有相似的外形尺寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的兩個凸圓錐鏡的母線具有相同的斜率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的兩個凸圓錐鏡，其后一個凸圓錐鏡的母線斜率略微低于前一個凸圓錐鏡的母線斜率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：入射光束經(jīng)過所述的兩個凸圓錐鏡中的第一個凸圓錐鏡后先向內(nèi)偏折，然后發(fā)散，再由第二個凸圓錐鏡準直出射。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：在產(chǎn)生圓形光瞳截面時，所述兩個凸圓錐鏡始終保持一定距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的衍射光學元件用于產(chǎn)生特定的照明模式。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的特定的照明模式包括圓形、環(huán)形、雙極或四極模式。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的連續(xù)變焦透鏡組用于改變光瞳截面的大小。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微光刻照明光瞳的整形結(jié)構(gòu)，其特征在于：由所述兩個凸圓錐鏡組成的光瞳調(diào)節(jié)器用于調(diào)節(jié)光瞳截面上內(nèi)環(huán)的大小。
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