[發(fā)明專(zhuān)利]一次寫(xiě)入多次讀取的電存儲(chǔ)器件及其制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810038578.0
• 申請(qǐng)日: 2008-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101290971A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐偉;董元偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/05
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/05;H01L51/30;H01L51/10;H01L51/40;H01L27/28;G11C11/56;G11C16/02
• 代理公司: 上海正旦專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.一次寫(xiě)入多次讀取的電存儲(chǔ)器件，其特征在于該器件的結(jié)構(gòu)組成依次為金屬底電極、配位聚合物介質(zhì)層、金屬頂電極；其中金屬底電極為銅膜，厚度為150-300nm；金屬頂電極為鋁膜，厚度為80-150nm；中間的配位聚合物介質(zhì)層是由金屬底電極浸入到有機(jī)配體分子溶液中，通過(guò)固-液界面的化學(xué)反應(yīng)，原位形成的配位聚合物薄膜，該有機(jī)配體為2，5-二巰基-1，3，4-噻二唑，分子式為C₂H₂N₂S₃。

2.一種如權(quán)利要求1所述的一次寫(xiě)入多次讀取電存儲(chǔ)器件的制備方法，其特征在于具體步驟如下：(1)采用乙醇或者N，N-二甲基甲酰胺做溶劑，配制濃度為0.01～20克/升的有機(jī)配體分子溶液，備用；(2)在載波片上通過(guò)真空熱蒸發(fā)方法沉積厚度為150～300納米的銅膜作為底電極，電極的形狀由掩膜確定；(3)將銅膜底電極浸入有機(jī)配體分子溶液中，自然放置0.5～48小時(shí)，然后將電極取出，用大量溶劑洗滌，靜置晾干或者用電吹風(fēng)吹干，即在銅膜底電極表面形成配位聚合物介質(zhì)層；(4)用真空熱蒸發(fā)方法在配位聚合物介質(zhì)層的表面蒸鍍80-150納米厚度的鋁膜，作為頂電極；這里，所述有機(jī)配體為2，5-二巰基-1，3，4-噻二唑，分子式為C₂H₂N₂S₃。