[發明專利]平衡減震臺

有效

• 申請號: 200810037650.8
• 申請日: 2008-05-20
• 公開（公告）號: CN101290477A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 呂洋
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;F16F15/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種平衡減震臺，其特征在于包括：基礎框架、輔助平衡塊、主平衡塊、平面平衡機構、工作臺以及兩連桿矯正機構；

所述輔助平衡塊一端面通過氣浮軸承連接在基礎框架上，另一端面與主平衡塊通過氣浮軸承連接；所述兩連桿矯正機構包括兩個連桿、兩個力矩電機以及固定基座，兩力矩電機之間通過所述兩個連桿中的一個連桿連接，一個力矩電機上設置固定基座用以固定輔助平衡塊，另一力矩電機通過所述兩個連桿中的另一個連桿連接主平衡塊；所述平面平衡機構設置在主平衡塊上，并連接工作臺。

2.如權利要求1所述的平衡減震臺，其特征在于所述平面平衡機構包括X向直線電機、Y向直線電機、X向導軌、Y向導軌、以及Y向氣浮軸承；

所述Y向直線電機和Y向導軌固定在主平衡塊上；Y向氣浮軸承在Y向導軌上滑動，并且與X向導軌連接；X向直線電機固定在X向導軌上。

3.如權利要求2所述的平衡減震臺，其特征在于所述工作臺由X向直線電機驅動，并通過氣浮軸承與X向導軌相連。

4.如權利要求1所述的平衡減震臺，其特征在于在基礎框架上還設有機械手裝置，用于平衡減震臺的初始化和復位。

5.如權利要求1所述的平衡減震臺，其特征在于基礎框架上還設有激光干涉儀，通過激光干涉儀來測量工作臺的絕對位置。