[發(fā)明專利]六自由度微動(dòng)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810037649.5
• 申請(qǐng)日: 2008-05-20
• 公開（公告）號(hào): CN101290476A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王天明;袁志揚(yáng);嚴(yán)天宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;B23Q1/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于包括：至少三個(gè)兩自由度微驅(qū)動(dòng)裝置，呈等同的圓周夾角，平均設(shè)置于微動(dòng)承載臺(tái)的邊緣；所述兩自由度微驅(qū)動(dòng)裝置包括兩對(duì)電磁鐵，一個(gè)設(shè)有電磁銜鐵的微執(zhí)行器動(dòng)子；所述兩對(duì)電磁鐵，一對(duì)水平、一對(duì)垂直對(duì)稱設(shè)置呈十字形；所述微執(zhí)行器動(dòng)子固定在圓形微動(dòng)承載臺(tái)上，設(shè)置于十字形的中心。

2.如權(quán)利要求1所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述兩自由度微驅(qū)動(dòng)裝置的電磁鐵呈“E”字形，電磁鐵線圈設(shè)置于“E”字形結(jié)構(gòu)中央，“E”字形結(jié)構(gòu)右側(cè)作為電磁鐵的磁極，面對(duì)微執(zhí)行器動(dòng)子。

3.如權(quán)利要求2所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述微執(zhí)行器動(dòng)子在水平和垂直方向上，對(duì)應(yīng)電磁鐵的磁極，均設(shè)有電磁銜鐵。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述微執(zhí)行器動(dòng)子在電磁銜鐵和電磁鐵之間電磁力的作用下，在十字形電磁鐵中心處作六自由度的運(yùn)動(dòng)。

5.如權(quán)利要求1所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述微動(dòng)承載臺(tái)呈圓形，兩自由度微驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在微動(dòng)承載臺(tái)的圓周上。

6.如權(quán)利要求1所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述微動(dòng)臺(tái)還包括一個(gè)微動(dòng)承載臺(tái)安裝基座，與微動(dòng)承載臺(tái)連接。

7.如權(quán)利要求1所述的六自由度微動(dòng)臺(tái)，其特征在于所述微動(dòng)臺(tái)連接長(zhǎng)行程驅(qū)動(dòng)裝置用于長(zhǎng)行程低精度移動(dòng)。