[發(fā)明專利]一種減小在線掃描電子顯微鏡誤測(cè)定的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810036913.3
• 申請(qǐng)日: 2008-04-30
• 公開（公告）號(hào): CN101286467A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖慧敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01B15/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅

1.一種集成電路工藝中減小在線掃描電子顯微鏡誤測(cè)定的方法，其特征在于，對(duì)所測(cè)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)是線條還是間距進(jìn)行判斷，并將其與文件要求進(jìn)行比較，如果與文件要求的結(jié)構(gòu)性質(zhì)不一致，則調(diào)整上述顯微鏡向左或向右移動(dòng)半個(gè)空間間距以檢測(cè)正確結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，判斷上述所測(cè)結(jié)構(gòu)性質(zhì)時(shí)所采用的信號(hào)為二次電子信號(hào)，上述二次電子信號(hào)為對(duì)上述所測(cè)結(jié)構(gòu)掃描時(shí)獲取的電子信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，判斷上述所測(cè)結(jié)構(gòu)性質(zhì)時(shí)是利用上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)最高點(diǎn)和最低點(diǎn)出現(xiàn)的順序進(jìn)行判定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，當(dāng)上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)先后依次出現(xiàn)最低點(diǎn)和最高點(diǎn)時(shí)判定上述所測(cè)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)為線條，當(dāng)上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)先后依次出現(xiàn)最高點(diǎn)和最低點(diǎn)時(shí)判定上述所測(cè)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)為間距。

5.一種集成電路工藝中減小在線掃描電子顯微鏡誤測(cè)定的方法，其特征在于包括：

使用上述電子顯微鏡對(duì)所測(cè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行定位；

對(duì)上述所測(cè)結(jié)構(gòu)進(jìn)行掃描，獲取第一結(jié)構(gòu)二次電子信號(hào)；

根據(jù)上述第一結(jié)構(gòu)二次電子信號(hào)判斷所測(cè)結(jié)構(gòu)性質(zhì)是線條和還是間距；

將上述所測(cè)結(jié)構(gòu)性質(zhì)判定的結(jié)果與文件要求進(jìn)行比較；

當(dāng)兩者不一致時(shí)，調(diào)整上述顯微鏡向左或向右移動(dòng)半個(gè)空間間距以自動(dòng)選擇正確結(jié)構(gòu)，對(duì)上述正確結(jié)構(gòu)進(jìn)行掃描，獲取第二結(jié)構(gòu)二次電子信號(hào)，通過計(jì)算得到第二結(jié)構(gòu)寬度，再將上述第二結(jié)構(gòu)寬度數(shù)據(jù)傳輸至生產(chǎn)管理系統(tǒng)，否則直接通過對(duì)上述第一結(jié)構(gòu)二次電子信號(hào)進(jìn)行計(jì)算，得到第一結(jié)構(gòu)寬度，再將上述第一結(jié)構(gòu)寬度傳輸至生產(chǎn)管理系統(tǒng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，其中上述定位步驟包括：

在光學(xué)顯微鏡模式下尋找所測(cè)結(jié)構(gòu)；

在掃描顯微鏡模式下小倍率尋找上述所測(cè)結(jié)構(gòu)；

在掃描顯微鏡模式下大倍率確定上述所測(cè)結(jié)構(gòu)的中心位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，判斷上述所測(cè)結(jié)構(gòu)性質(zhì)時(shí)是利用上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)最高點(diǎn)和最低點(diǎn)出現(xiàn)的順序進(jìn)行判定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，當(dāng)上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)先后依次出現(xiàn)最低點(diǎn)和最高點(diǎn)時(shí)判定上述所測(cè)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)為線條，當(dāng)上述二次電子信號(hào)左半段信號(hào)先后依次出現(xiàn)最高點(diǎn)和最低點(diǎn)時(shí)判定上述所測(cè)結(jié)構(gòu)的性質(zhì)為間距。