[發明專利]多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺

無效

• 申請號: 200810036151.7
• 申請日: 2008-04-17
• 公開（公告）號: CN101286368A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 曹家勇;王石剛;朱煜;徐威;尹文生
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;G12B9/10;B25H1/00;B23Q1/44
• 代理公司: 上海交達專利事務所
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，包括基臺(1)和移動臺(2)，移動臺(2)懸浮設置在基臺(1)上方，兩者之間存在氣隙，其特征在于：所述基臺(1)包含一個永磁陣列(5)，所述永磁陣列布置于所述氣隙下方；

所述移動臺由平臺(7)和設置于平臺(7)底部的若干個磁足單元(8)組成，所述磁足單元(8)包含一個線圈陣列(4)和一個由鐵磁材料制成的磁足鐵心(9)，所述磁足鐵心(9)由鐵心體(10)和一系列鐵心齒(11)構成，所述一系列鐵心齒(11)固接于鐵心體(11)上；所述線圈陣列(4)由若干線圈(12)組成，所述線圈(12)分別鑲嵌于所述鐵心齒(11)上。

2.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述一系列鐵心齒(11)沿XY平面按照矩陣形式布置而成。

3.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述一系列鐵心齒(11)中，沿X方向任意相鄰鐵心齒和沿Y方向任意相鄰鐵心齒之間的中心距等于永磁陣列的極距的三分之一。

4.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述線圈陣列(4)中沿X方向任意相鄰線圈和沿Y方向任意相鄰線圈之間的中心距也等于永磁陣列的極距P的三分之一。

5.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述線圈(12)的數量與所述鐵心齒(11)的數量一樣。

6.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述永磁陣列(5)由一系列沿著XY平面按照矩陣形式分布的永磁體(6)組成。

7.根據權利要求1所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述線圈陣列(4)中的線圈被分成9組，在每一相繞組中，沿x方向或y方向任意兩相鄰線圈軸線之間的距離分別等于所述永磁陣列的極距。

8.根據權利要求1或5或7所述的多磁足驅動式大范圍磁浮平面工作臺，其特征是：所述線圈(12)為矩形線圈(20)、圓形線圈(21)或多邊形線圈(22)。