[發(fā)明專利]卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)加工在線檢驗方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810035325.8 | 申請日： | 2008-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN101251436A | 公開（公告）日： | 2008-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 沈蓓軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 格林 反射 光學(xué)系統(tǒng) 加工 在線 檢驗 方法 | ||
1.?一種卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)加工在線檢驗方法，它由標(biāo)準(zhǔn)自準(zhǔn)直平面鏡(1)、補償透鏡(3)和檢測儀器(4)組成，其特征在于：在被檢測的卡塞格林光學(xué)系統(tǒng)(2)的前方有能使檢驗光束原路返回的標(biāo)準(zhǔn)自準(zhǔn)平面鏡(1)，在被檢驗的卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)(2)后光路中有一塊用來補償被檢驗的光學(xué)系統(tǒng)軸上球差的補償透鏡(3)，在被檢測的卡塞格林光學(xué)系統(tǒng)(2)的焦點上有用來測量副反射鏡(201)非球面加工誤差的檢測儀器(4)。
2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)加工在線檢驗方法，其特征在于：所說的標(biāo)準(zhǔn)自準(zhǔn)直平面鏡(1)采用面形精度優(yōu)于十分之一檢驗光波長，通光口徑大于主反射鏡(202)通光口徑50mm以上的標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡。
3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)加工在線檢驗方法，其特征在于：所說的補償透鏡(3)采用高質(zhì)量的光學(xué)玻璃制成，所說的光學(xué)玻璃材料可選用K9或BK7牌號的玻璃。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卡塞格林二反射鏡光學(xué)系統(tǒng)加工在線檢驗方法，其特征在于：所說的檢測儀器(4)是刀口儀和激光干涉儀，在對非球面副反射鏡(201)進行修帶時，采用刀口儀進行檢測，當(dāng)加工誤差進入二分之一波長范圍對副反射鏡(201)非球面面形進行精修時，采用激光干涉儀檢驗。
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