[發(fā)明專利]氟代聚對二甲苯的涂敷方法及涂敷專用設備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810034666.3
• 申請日: 2008-03-14
• 公開（公告）號: CN101240415A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設計）人: 張芳江
• 申請（專利權）人: 上海立科藥物化學有限公司
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00;C23C16/44;C23C16/52
• 代理公司: 上海東亞專利商標代理有限公司
• 代理人: 董梅

1、一種氟代聚對二甲苯的涂敷方法，將氟代聚對二甲苯原料氣化、裂解成活性單體，被涂敷材料在密閉壓力容器內(nèi)，在真空度40-60Pa和250-350℃條件活性單體沉積在被涂敷材料表面形成涂敷層。

2、根據(jù)權利要求1所述的氟代聚對二甲苯的涂敷方法，其特征在于：被涂敷材料固定在密閉壓力容器內(nèi)的旋轉支架上，采用旋轉涂敷。

3、根據(jù)權利要求1所述的氟代聚對二甲苯的涂敷方法，其特征在于：涂敷厚度為2-12μm，涂敷速率為2μm/小時。

4、根據(jù)權利要求3所述的氟代聚對二甲苯的涂敷方法，其特征在于涂敷的方法具體包括以下步驟：

1)將氟代聚對二甲苯原料盛裝在氣化裂解室的氣化舟內(nèi)：

2)將需涂敷的材料夾裝在聚合沉積室的支架上，墊上密封圈，合上真空鐘罩，其中，支架與傳動電機軸連接；

3)打開節(jié)流閥，開啟真空機械泵，對系統(tǒng)抽真空，當系統(tǒng)真空度達到25Pa以下；將氣化裂解室升溫，在溫度達到100℃時，用氮氣吹氣化裂解室底部5-10分鐘，當溫度到250-350℃，打開冷阱，使冷阱溫度達到-50℃以下，加熱過程中調(diào)節(jié)節(jié)流閥控制抽真空速度，使聚合沉積室真空度保持在40-60Pa，同時啟動傳動電機，使支架開始旋轉，旋轉速度控制在每分鐘5-15轉；

4)氣化裂解室中的氟代聚對二甲苯首先氣化，然后裂解成為活性單體，通過氣體分流器進入聚合沉積室，在涂敷材料表面沉淀，通過氣體分流器使聚合沉積室內(nèi)氣體分布均勻，并讓氟代聚對二甲苯涂敷在轉動的需被涂敷材料的表面上；

5)通過真空鐘罩上的觀察窗監(jiān)控涂敷質量；

6)根據(jù)每批涂敷厚度要求控制氣化裂解室溫度在250-350℃之間，涂敷時間越長厚度越厚，涂敷厚度為2-12μm，控制速率為2μm/小時；

7)當涂敷結束后氣化裂解室降溫至150℃以下，依序關閉制冷機、傳動電機，并打開節(jié)流閥至氣化裂解室溫度低于80℃，關閉節(jié)流閥，停止真空機械泵的工作；

8)當氣化裂解室溫度低于60℃，打開聚合沉積室放氣閥，開啟真空鐘罩，并測量監(jiān)控裝置的透明玻璃管鍍膜厚度，測得的膜厚即為被涂敷材料的膜厚。

5、針對權利要求4所述涂敷方法提供一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，該設備包括氣化裂解室、聚合沉積室、冷阱、節(jié)流閥、真空機械泵、制冷機，其特征在于：所述氣化裂解室與聚合沉積室連通，聚合沉積室與冷阱進口連通，真空機械泵通過節(jié)流閥與冷阱出口連通，冷阱通過制冷機制冷，使冷阱制冷溫度最低可達到-100℃，其中：

所述的氣化裂解室為不銹鋼裂解腔體，內(nèi)設有氣化舟，在不銹鋼裂解腔體外部裝有電加熱管，裂解室通過管道與聚合沉積室相連通；

所述的聚合沉積室具有一真空鐘罩，真空鐘罩上設置有密封圈，真空鐘罩內(nèi)設置有氣體分流器，氣體分流器入口與氣化裂解室連接管出口相連，在真空鐘罩中部裝置有與傳動電機軸連接的支架，在氣體分流器上設置有撥動塊，在支架上裝置有監(jiān)控裝置。

6、根據(jù)權利要求5所述的一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，其特征在于：所述的不銹鋼裂解腔體采用304、304L、316L或317L不銹鋼材。

7、根據(jù)權利要求5所述的一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，其特征在于：所述的氣化裂解室與聚合沉積室之間的連接管道采用橢球形，連接管道距離為5-10厘米。

8、根據(jù)權利要求5所述的一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，其特征在于：所述的監(jiān)控裝置采用透明玻璃管，通過固定桿設置在支架上，監(jiān)控裝置與觀察窗在同一平行線上。

9、根據(jù)權利要求5所述的一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，其特征在于：所述的氣體分流器具有氣體分流器筒體，筒體上、下封閉，在筒體一側分布有不同流阻的氣體分流孔，氣體分流器上設有撥動塊。

10、根據(jù)權利要求5所述的一種氟代聚對二甲苯表面涂敷設備，其特征在于：真空機械泵的真空度最高達到50-60Pa以下。