[發(fā)明專利]具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810034347.2
• 申請(qǐng)日: 2008-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN101241311A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鋼;馬喜寶;周暢;李若慶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1、一種具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于包括：疊加的X方向驅(qū)動(dòng)裝置、Y方向驅(qū)動(dòng)裝置和旋轉(zhuǎn)裝置，與所述旋轉(zhuǎn)裝置相連接的機(jī)械手，

其中，所述X方向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述Y方向驅(qū)動(dòng)裝置、旋轉(zhuǎn)裝置、機(jī)械手在X方向運(yùn)動(dòng)；

所述Y方向驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)裝置、機(jī)械手在Y方向運(yùn)動(dòng)；

所述旋轉(zhuǎn)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)裝置和機(jī)械手處于疊加的物理位置的最上方。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述X方向驅(qū)動(dòng)裝置包括直線驅(qū)動(dòng)的第一電機(jī)和位于X方向上的該第一電機(jī)對(duì)應(yīng)的第一導(dǎo)軌。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述Y方向驅(qū)動(dòng)裝置包括直線驅(qū)動(dòng)的第二電機(jī)和位于Y方向上的該第二電機(jī)對(duì)應(yīng)的第二導(dǎo)軌。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)裝置為電機(jī)。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：還包括布局在X方向或Y方向的物料存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述物料存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)為兩個(gè)，對(duì)稱分布在X方向的兩側(cè)。

8、根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述物料存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)為機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)介面的掩模盒。

9、根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述X方向驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)于第一導(dǎo)軌上的第一滑動(dòng)塊，所述Y方向驅(qū)動(dòng)裝置、旋轉(zhuǎn)裝置、機(jī)械手設(shè)于該第一滑動(dòng)塊上。

10、根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：還包括一升降電機(jī)，該升降電機(jī)位于旋轉(zhuǎn)電機(jī)的下方和第二導(dǎo)軌的上方。

11、根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述Y方向驅(qū)動(dòng)裝置包括設(shè)于第二導(dǎo)軌上的第二滑動(dòng)塊，所述旋轉(zhuǎn)裝置、機(jī)械手在Y設(shè)于該第二滑動(dòng)塊上。

12、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)械手為一叉形機(jī)械結(jié)構(gòu)。

13、根據(jù)權(quán)利要求11中所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)械手包括連接臂和分別固定于該連接臂兩端的吸附結(jié)構(gòu)的固定結(jié)構(gòu)。

14、根據(jù)權(quán)利要求13中所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述吸附結(jié)構(gòu)在與掩模接觸的部分設(shè)置一個(gè)或多個(gè)真空吸附窗口。

15、根據(jù)權(quán)利要求13中所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)械手還包括設(shè)于吸附結(jié)構(gòu)外側(cè)的加粗的外支撐結(jié)構(gòu)，外支撐結(jié)構(gòu)固定于連接臂上。

16、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：還包括對(duì)準(zhǔn)裝置。

17、根據(jù)權(quán)利要求16所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述機(jī)械手上設(shè)有一個(gè)或多個(gè)機(jī)械手標(biāo)記，所述對(duì)準(zhǔn)裝置為測(cè)量機(jī)械手標(biāo)記高度和水平位置的對(duì)準(zhǔn)裝置。

18、根據(jù)權(quán)利要求16所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：所述對(duì)準(zhǔn)裝置為測(cè)量掩模高度和水平位置的對(duì)準(zhǔn)裝置。

19、根據(jù)權(quán)利要求16所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于：還包括夾持和松開機(jī)械手前端的機(jī)械手固定結(jié)構(gòu)。

20、一種具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸方法，采用權(quán)利要求1至19中任一所述的具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于包括以下步驟：

步驟1、在機(jī)械手取得掩模后，將掩模傳輸至曝光位置處；

步驟2、調(diào)整機(jī)械手，使機(jī)械手上的掩模位置滿足曝光要求后，進(jìn)行曝光操作。

21、根據(jù)權(quán)利要求20所述賓具有掩模臺(tái)功能的基于疊加電機(jī)的物料傳輸方法，其特征在于：所述步驟1具體包括以下步驟：

步驟一、在第一電機(jī)的作用下，機(jī)械手到達(dá)掩模盒取版的一個(gè)預(yù)備位置；

步驟二、在預(yù)備位置處，機(jī)械手在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)一定角度，使機(jī)械手的方向朝向掩模盒；

步驟三、在第二電機(jī)的作用下，機(jī)械手到指定的掩模盒的前方；

步驟四、機(jī)械手在第一電機(jī)的作用下前伸直至掩模盒內(nèi)部，取得掩模；

步驟五、在直線第一電機(jī)的作用下機(jī)械手收回；

步驟六、在第二電機(jī)的作用下，機(jī)械手回到取版的預(yù)備位置；

步驟七、在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的作用下，機(jī)械手旋轉(zhuǎn)一定角度使機(jī)械手的方向朝向掩模交接位置；

步驟八、在第一電機(jī)的作用后，再經(jīng)第二電機(jī)的作用，機(jī)械手運(yùn)行曝光位置處。