[發明專利]有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法

無效

• 申請號: 200810034030.9
• 申請日: 2008-02-28
• 公開（公告）號: CN101257185A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 吳翔;徐雷;劉麗英;李皓
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;H01S5/10;H01S5/30;H01S3/00;H01L21/00
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司
• 代理人: 陸飛;盛志范

1、有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法，其特征在于具體步驟如下：首先，利用溶膠-凝膠法配制折射率較低的有機無機復合材料溶液，利用旋涂甩膜法在硅片(1)上制備襯底層(2)，并用紫外光(3)照射樣品，使其中的有機部分聚合，再將樣品放入烘箱中處理，使薄膜進一步固化；其次，配制折射率較高的有機無機復合材料溶液，并在其中摻雜有機熒光染料或者量子點作為激光的增益介質，利用旋涂甩膜法在襯底層(2)上制備有源層(4)；再次，利用紫外光刻技術將掩模板(5)上的微腔圖形轉移到有源層(4)上，再利用濕法刻蝕工藝，刻蝕出微腔(6)；最后，在制備好的樣品上制備一層覆蓋層(7)；其中：

所述有機無機復合材料是由甲基丙烯酸丙脂基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酸和丙氧基鋯烷三種材料經水解聚合而成。其中，丙氧基鋯烷為折射材料；所述折射較低的有機無機復合材料是指含鋯量為4-10％的復合材料，所述折射率較高的有機無機復合材料是指含鋯量為18-25％的復合材料，這里的百分比為摩爾比。

2、根據權利要求1所述的有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法，其特征在于作為激光的增益介質為有機熒光染料或量子點，摻雜量為有機無機復合材料重量的4-8％。

3、根據權利要求1所述的有機無機復合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法，其特征在于所述的覆蓋層(7)的材料為有機聚合物或無機二氧化硅材料，制備方法為拉膜方法或PECVD方法。