[發明專利]一種光刻機投影物鏡安裝調平裝置

有效

• 申請號: 200810033381.8
• 申請日: 2008-01-31
• 公開（公告）號: CN101226345A
• 公開（公告）日: 2008-07-23
• 發明（設計）人: 唐海明;朱岳彬
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及光刻機的安裝調平裝置領域，尤其涉及可用于調平光刻機投影物鏡的使用柔性塊的調平裝置。

背景技術

對大規模集成電路的制造工藝過程來說，投影光刻是最為關鍵的工藝，需要用到投影光刻機，而投影物鏡就是投影光刻機的核心，其性能直接決定了光刻的圖形傳遞能力。為保證投影物鏡擁有良好的圖形傳遞能力，那么相應對投影物鏡就會有很高的安裝精度要求。對投影物鏡的安裝要求包括對投影物鏡頂平面的調平精度要求。

通常對投影物鏡頂平面的調平采用機械安裝工藝的方法。此方法可以采用修磨墊片的方法來實現調平。先通過高分辨力的水平測量儀測出被測量基準面的水平度，隨后把測量出的水平度與期望值進行比較，確定安裝基準面下相應的各個墊片的修磨量，經過修磨后使水平度達到期望值。采用這種方式可達到比較高的水平度要求，但是整個調平過程也比較繁瑣。為實現這些高精密部件的安裝，機械上也常采用螺紋雙向調節的方式，同樣先是通過高分辨力的水平測量儀測出被測量基準面的水平度，隨后裝配人員根據測出值與期望值之間的偏移量來調節相應的螺紋結構，以達到期望的水平度要求。這種方式雖然不需像修磨墊片方法那樣重復加工-安裝-加工-安裝的調平過程，可以實時在線地調出所要求的水平度要求，但是需要提供具有螺紋調節裝置的安裝底板，結構設計上相對比較復雜。上述的兩種投影物鏡的安裝方法，不能為投影物鏡提供抗外界振動或沖擊的作用。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光刻機投影物鏡安裝調平裝置，可克服修磨墊片的調平裝置存在的繁瑣的調平過程的問題和螺紋雙向調節的調平裝置存在的結構復雜的問題，同時能減小外界振動和沖擊給投影物鏡帶來的危害。

為達到上述目的，本發明的光刻機投影物鏡安裝調平裝置，它用于調平帶有安裝法蘭的投影物鏡。該調平裝置包括安裝基板，若干柔性塊，安裝件和固定件。柔性塊前端通過固定件與投影物鏡的安裝法蘭連接，柔性塊底座通過安裝件安裝在安裝基板上。柔性塊前端開有第一狹長槽，柔性塊后端與第一狹長槽相向方向開有第二狹長槽。柔性塊還包括自柔性塊后端面延伸出的兩個凸出的受力塊和一個可控制柔性塊前端翹起和壓下的調節桿，調節桿安裝在兩個受力塊上。柔性塊前端上表面縱向開有一凹槽，該凹槽為一橫截面為半圓形的凹槽。為實現簡單調平的結構，采用機械設計中最基本的三點調平結構，該調平裝置包括三個柔性塊，且三個柔性塊等圓周均布地固定在投影物鏡的安裝法蘭和安裝基板上。柔性塊上的調節桿由一雙頭螺柱，一對前端翹起調節螺母，一對前端壓下調節螺母組成。一對翹起調節螺母安裝在雙頭螺柱的兩端，位于兩個受力塊的外側。一對前端壓下調節螺母安裝在一對前端翹起調節螺母之間，位于兩個受力塊的內側。固定件為若干投影物鏡固定螺釘，安裝件為若干柔性塊安裝螺釘。

與目前的調平裝置相比，本發明的光刻機投影物鏡安裝調平裝置具有可控制柔性塊前端翹起和壓下的調節桿，通過這種簡單結構的調節桿可實現投影物鏡的調平。通過柔性塊中部開有的第一狹長槽和第二狹長槽形成的一彈性支點來避免外界的振動和沖擊給投影物鏡帶來的損害。通過在柔性塊前端上表面開有的一凹槽，可以解決調平時出現的過約束問題。

附圖說明

以下結合附圖和具體實施例對本發明的光刻機投影物鏡安裝調平裝置作進一步詳細具體的說明。

圖1是本發明投影物鏡安裝調平裝置示意圖。

圖2是本發明調平裝置的柔性塊部分剖面示意圖。

圖3是本發明調平裝置的柔性塊剖面示意圖。

具體實施方式