[發明專利]圖形定位精度檢測裝置及其檢測方法

有效

• 申請號: 200810033057.6
• 申請日: 2008-01-24
• 公開（公告）號: CN101221371A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發明（設計）人: 劉國淦
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種圖形定位檢測裝置，用于測量圖形的位置變化，其特征在于，所述裝置包括沿探測光路依次排列的相移模塊、透射聚焦光學模塊、掩模臺、分光棱鏡、準直模塊、45度設置的分光鏡以及位于所述分光鏡第一出射面上的對準傳感器，所述掩模臺用于承載具有所述圖形的掩模版；所述裝置還包括：照明光源模塊，其出射光經過一照明聚焦模塊后，通過所述分光棱鏡照射到掩模版的上表面；激光光源模塊，其出射光通過一分光模塊分為一束參考光和一束透射光，所述參考光通過一參考光單模光纖入射至所述分光棱鏡，所述透射光通過一透射光單模光纖入射至所述透射聚焦光學模塊；所述分光鏡的第二出射面上還設有一成像模塊和一圖像傳感器；所述裝置還包括與上述各部件相連的主控機。

2.如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置，其特征在于：所述透射聚焦光學模塊固定在所述相移模塊上，該相移模塊可以垂向移動。

3.如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置，其特征在于：所述透射光和參考光是來自所述激光光源模塊同一出射光的相干光。

4.如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置，其特征在于：所述參考光和透射光通過所述分光棱鏡進行合并。

5.如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置，其特征在于：所述掩模臺可在X、Y、Z方向精確移動。

6.如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置，其特征在于：所述主控機控制激光光源模塊產生激光和調節光強、控制照明光源模塊開關和光強、控制相移模塊移動、掩模臺移動以及傳感器的圖像信息分析。

7.采用如權利要求1所述的圖形定位檢測裝置的檢測方法，其特征在于，通過所述透射光和參考光進行干涉的方法，測量透射光的波前變化，從而計算出圖形的位置，所述方法包括下列步驟：

(1)??主控機控制照明光源模塊打開并調節光強，讓照明光照射到掩模版上圖形的一個較大范圍；

(2)??通過圖像傳感器接收所述圖形的圖像信息；

(3)??通過圖像傳感器作圖像分析找到需要進行精確定位的圖形，并由主控機控制對圖形進行粗定位；

(4)??關閉照明光源模塊，開啟激光光源模塊；

(5)??通過對準傳感器分析圖形表面的離焦和偏離；

(6)??控制圖形的移動位置，使之達到最佳的焦面和傾斜位置；

(7)??主控機根據對準傳感器記錄的圖形位置計算得到該圖形的精確位置信息。