[發明專利]一種可提高測試效率的應力遷移測試方法

有效

• 申請號: 200810033049.1
• 申請日: 2008-01-24
• 公開（公告）號: CN101493497A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 譚靜;王玉科;盧秋明
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1.一種可提高測試效率的應力遷移測試方法，用于測試具有四個測試點的應力測試單元的應力遷移，該測試方法包括以下步驟：a、提供一開爾文四線電阻測試裝置，其具有電流輸入輸出探針，該電流輸入輸出探針末端間串聯連接一可調恒流源，該測試裝置針對可調恒流源的輸出電流的變化與否具有電流自適應模式和電流恒定模式；b、提供一具有該應力測試單元的待測晶圓和一預設烘焙時間序列；其特征在于，該方法還包括以下步驟：c、將開爾文四線電阻測試裝置設定為電流自適應模式，通過電流自適應測試法測出該應力測試單元的初始電阻值，并記錄測得該初始電阻值時的初始測試電流；d、將開爾文四線電阻測試裝置設定為電流恒定模式，且將該可調恒流源的輸出電流設定為該初始測試電流；e、將該待測晶圓設置在烘箱中進行烘焙；f、在烘焙時間為預設烘焙時間序列中的預設烘焙時間時，將待測晶圓取出冷卻后使用四線電阻測試裝置并通過電流恒定測試法測出該應力測試單元的烘焙后電阻值；g、判斷預設烘焙時間序列中的所有預設烘焙時間是否全部完成，若否則返回步驟e，若是則依據烘焙后電阻值與初始電阻值判斷應力遷移狀況。

2.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，該烘焙后電阻值與初始電阻值的偏差越大，該應力遷移越嚴重。

3.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，該四線電阻測試裝置還具有兩電壓測量探針，該兩電壓測量探針末端電性連接一電壓表，該可調恒流源上還串聯連接一電流表。

4.如權利要求3所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，該開爾文四線電阻測試裝置的電流輸入輸出探針和兩電壓測量探針分別用于與應力測試單元的四測試點電性連接以測得該應力測試單元的電阻。

5.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，該電流自適應測試法通過調整恒流源的輸出電流以避免在該應力測試單元上產生焦耳熱。

6.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，該電流自適應測試法測得該應力測試單元的每一電阻值的用時為40秒。

7.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，在步驟f中，該電流恒定測試法測得該應力測試單元的每一烘焙后電阻值的用時為1秒。

8.如權利要求1所述的可提高測試效率的應力遷移測試方法，其特征在于，在步驟b中，該預設烘焙時間序列為168小時、500小時、1000小時和1500小時。