[發明專利]一種微波可調器件用復合型鐵電薄膜及其制備方法

無效

• 申請號: 200810032968.7
• 申請日: 2008-01-23
• 公開（公告）號: CN101307497A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 翟繼衛;高麗娜
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: C30B29/32
• 分類號: C30B29/32;C30B29/22;H01P1/18
• 代理公司: 上海光華專利事務所
• 代理人: 李強;余明偉

1.一種微波可調器件用復合型鐵電薄膜，其特征在于，按照摩爾百分比由30％～40％的Mg₂TiO₄和70％～60％的Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃組成，其中x＝0.40～0.60。

2.一種制備權利要求1所述的微波可調器件用復合型鐵電薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

A、按照Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃，x＝0.40～0.60的化學配比，先將醋酸鋇、醋酸鍶、硝酸鎂在冰醋酸和水的混合溶液中加熱至沸騰，待冷卻至室溫時，再加入鈦酸四正丁酯和乙酰丙酮的混合溶液，形成Ba_(1-x)Sr_xTi_0.85Mg_0.15O₃溶液；

B、按照Mg₂TiO₄的化學配比，將硝酸鎂的乙二醇乙醚溶液與鈦酸四正丁酯的乙酰丙酮溶液混合，形成Mg₂TiO₄溶液；將步驟A獲得的溶液與Mg₂TiO₄溶液混合，并用冰醋酸和水調整溶液的摩爾濃度至0.10～0.20M，放置24小時后形成前驅體溶膠；

C、將步驟B獲得的前驅體溶膠通過旋轉涂覆的方法在Pt(1?1?1)/Ti/SiO₂/Si(1?0?0)基底上制成凝膠膜，旋轉速度為2900～3100轉/分，時間為10～30秒；

D、將涂覆好的凝膠膜在500℃～600℃的環境下處理5～10分鐘，取出后冷卻至室溫，再在其上面涂覆下一層凝膠膜，循環往復直到獲得所需厚度的凝膠膜，再在800～900℃下處理30～180分鐘。