[發明專利]空間濾波器光路準直的調整裝置及調整方法無效
| 申請號： | 200810032437.8 | 申請日： | 2008-01-09 |
| 公開（公告）號： | CN101216610A | 公開（公告）日： | 2008-07-09 |
| 發明（設計）人： | 劉代中;丁莉;高妍琦 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B27/46 | 分類號： | G02B27/46;G02B27/30;G02B7/182 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 空間 濾波器 光路準直 調整 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種空間濾波器光路準直的遠場探測裝置，特征在于其構成包括：
一緊貼空間濾波器小孔(4)后放置的透射光柵(5)；
發光二極管(9)和準直透鏡(8)構成準直的非相干照明光源，照射所述的小孔(4)和透射光柵(5)；
由成像透鏡(6)和遠場探測器(7)置于所述的透射光柵(5)的衍射光束方向構成遠場成像探測器，所述的遠場探測器(7)的輸出接一計算機。
2.利用權利要求1所述的遠場探測裝置實現空間濾波器光路準直的方法，其特征在于包括如下步驟：
①首先在空間濾波器(3)的小孔(4)的后面緊貼其小孔板放置所述的透射光柵(5)并覆蓋所述的小孔(4)；
②打開主激光，激光束的焦斑穿過小孔(4)照射透射光柵(5)產生衍射，在該透射光柵(5)的一級衍射光方向設置遠場成像探測器，使一級衍射光經成像透鏡(6)在遠場探測器(7)上成像，通過計算機的圖像處理得到主激光的焦斑中心；
③然后啟動非相干照明光源照明所述的小孔(4)，調整非相干照明光源的準直光束的入射角，使透射光柵(5)產生的一級或者二級衍射光使小孔輪廓通過成像透鏡(6)成像在遠場探測器(7)上，然后通過計算機的圖像處理得到小孔中心；
④調整第一反射鏡(1)和第二反射鏡(2)，重復上述第②和第③步，當主激光的焦斑中心和空間濾波器的小孔中心重合，即完成空間濾波器光路準直的調整。
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