[發(fā)明專利]一種用于非球面面形測量的組合式干涉裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810031320.8
• 申請日: 2008-05-16
• 公開（公告）號: CN101270975A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱勇建;尹韶輝;范玉峰;呂冰海
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南大學(xué)
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司
• 代理人: 馬強

1.一種用于非球面面形測量的組合式干涉裝置，有激光器(1)，其特征在于，沿激光器(1)產(chǎn)生激光的水平前進(jìn)方向依序設(shè)置空間濾波器(2)、擴束系統(tǒng)(3)、分光鏡(4)、轉(zhuǎn)換透鏡(5)、被測非球面鏡(21)；所述激光再次經(jīng)過分光鏡(4)反射后形成第一垂直光路，在該垂直光路先后放置45°偏振片(6)和第一光學(xué)平板(7)，激光通過第一光學(xué)平板(7)后形成兩條水平光路，在下面較小口徑光路中沿激光前進(jìn)方向依序設(shè)置垂直偏振片(8)、縮束系統(tǒng)(10)、第一光楔(12)、第二光楔(13)；在上面較大口徑光路中沿激光前進(jìn)方向先后放置水平偏振片(9)、擴束系統(tǒng)(11)、第三光楔(14)、第四光楔(15)，在第二光楔(13)和第四光楔(15)之后放置第二光學(xué)平板(16)；兩路光通過第二光學(xué)平板(16)后形成第二垂直光路，在該第二垂直光路沿激光前進(jìn)方向依序設(shè)置分束光柵(17)、1/4波片(18)、偏振片組(19)和CCD(20)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，所述的偏振片(6)、垂直偏振片(8)和水平偏振片(9)的偏振方向分別為45°、90°和180°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，所述第一光學(xué)平板(7)和第一光學(xué)平板(16)為大小相等的長方體，且材料相同，長邊相互平行放在同一水平面上，而兩平板中心在同一水平線上，長邊均與水平線成45°角，兩中心距離為平板厚度的4～6倍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，所述縮束系統(tǒng)(10)和擴束系統(tǒng)(11)均由一大一小兩個對應(yīng)相同的透鏡組成，僅大小透鏡的放置位置正好相反。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，所述第一光楔(12)、第二光楔(13)，第三光楔(14)和第四光楔(15)為直徑、厚度、大小和楔角完全相同的圓形光楔，第一光楔光楔(12)、第二光楔(13)同軸放置在較小口徑光路中，無楔角面靠在一起并留有的縫隙，采用機械裝置使它們同步反向的繞軸O₁-O₂轉(zhuǎn)動；以同樣方式把第三光楔(14)、第四光楔(15)放置在較大口徑光路中，操作時同步反向繞軸O₃-O₄轉(zhuǎn)動；第一光楔(12)與第二光楔(13)形成一個光楔對，第三光楔(14)與第四光楔(15)也形成一個光楔對，將該兩個光楔對接到同一個高分辨率步進(jìn)馬達(dá)，兩光楔對可同步或異步旋轉(zhuǎn)。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，所述分束光柵(17)是2×2的高效率衍射光柵，所述偏振片組(19)由一塊透光玻璃板和三塊偏振片粘在一起放置在同一平面上組成，且所述三塊偏振片的偏振方向分別為45°，90°和135°。

7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的非球面測量裝置，其特征在于，垂直偏振片(8)和縮束系統(tǒng)(10)的位置互換，水平偏振片(9)和擴束系統(tǒng)(11)的位置互換。