[發明專利]鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜及其制備方法

無效

• 申請號: 200810028685.5
• 申請日: 2008-06-10
• 公開（公告）號: CN101339989A
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發明（設計）人: 余洪文
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: H01M4/38
• 分類號: H01M4/38;H01M4/04;C23C14/34;C23C14/06;C22C13/00;C22C21/00
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊曉松

1、一種鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于包括下述步驟：

(1)選用作為薄膜電極集流體的金屬箔作為磁控濺射的基底，并進行基底清洗；

(2)調節濺射室氣壓至1.0×10^-3Pa或以上，然后通入惰性氣體并調節氣壓在0.1～10Pa范圍；

(3)磁控濺射制備鋁錫合金薄膜，調節濺射功率在10W～5KW范圍內，沉積時間在10～60分鐘范圍內。

2、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(1)所述的作為薄膜電極集流體的金屬箔為銅箔或鋁箔。

3、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(3)中，所述磁控濺射類型為直流磁控濺射或射頻磁控濺射，具體操作方式為垂直濺射或共濺射，且垂直濺射采用的靶材為一個鋁錫合金靶材，其鋁的質量百分比為25～75％；共濺射采用的靶材為分別安裝在兩個不同靶材基座上的鋁單體靶材和錫單體靶材。

4、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(2)所述的惰性氣體為氬氣。

5、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(2)所述通入惰性氣體后調節的氣壓為3Pa。

6、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(3)所述的濺射功率為10W～5KW范圍。

7、根據權利要求1所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(1)中所述基底清洗是先將基底置于金屬清洗劑配制的濃度為3～10％的溶液浸泡，再放入去離子水中浸泡清洗，然后將基底進行干燥后放入濺射室基底基座上，最后對基底表面進行反濺處理。

8、一種由權利要求1～7任一項所述方法制備的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜，其特征在于：由固溶體合金材料鋁錫合金構成，所述鋁錫合金中錫的含量為25～75％，其余為鋁。

9、根據權利要求7所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜，其特征在于，所述鋁錫合金薄膜中錫的含量為50％。

10、根據權利要求7所述的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜，其特征在于，所述鋁錫合金薄膜厚度為50～200μm。