[發(fā)明專利]玻璃襯底上彩色二氧化釩熱色玻璃的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810027226.5 | 申請日： | 2008-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN101255015A | 公開（公告）日： | 2008-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐剛;黃春明;侯乃升;陳麗華;黃華凜 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院廣州能源研究所 |
| 主分類號： | C03C17/23 | 分類號： | C03C17/23;C03C4/02 |
| 代理公司： | 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 莫瑤江 |
| 地址： | 510640廣東省廣州市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 襯底 彩色 氧化 釩熱色 制備 方法 | ||
1.一種玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于依次包括如下步驟：(a)用洗液或溶劑將玻璃襯底清洗干凈并吹干；(b)將玻璃襯底放入薄膜沉積室，加熱至300～600℃；(c)通入工作氣體；(d)采用磁控濺射制備工藝使二氧化釩成膜；(e)控制二氧化釩成膜厚度以得到不同反射顏色的二氧化釩鍍膜玻璃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(d)中二氧化釩薄膜的制備采用金屬釩或二氧化釩為陰極濺射材料，濺射方式為射頻濺射，濺射室在通入Ar氣的同時(shí)，也通入高純度的O2氣，O2氣與Ar氣分壓比或流速比為0.03～0.3∶1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(d)中二氧化釩薄膜的制備采用五氧化二釩陶瓷靶為陰極濺射材料，濺射電源為直流濺射，濺射工作氣體為Ar氣與H2氣的混合氣體，H2氣與Ar混合體的百分比H2/(Ar+H2)＝2％～8％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：步驟(e)中先利用石英晶振儀記錄薄膜沉積的時(shí)間與相對厚度，沉積完畢后，再利用橢偏儀對二氧化釩薄膜的幾何厚度進(jìn)行精確測定。根據(jù)沉積時(shí)間，計(jì)算出薄膜的沉積速度。在此基礎(chǔ)上，設(shè)定薄膜的沉積時(shí)間，使薄膜達(dá)到需要的厚度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之任一所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：控制二氧化釩薄膜沉積的厚度在10～25納米以得到反射顏色為淺藍(lán)色的鍍膜玻璃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4之任一所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：控制二氧化釩薄膜沉積的厚度在25～40納米以得到反射顏色為淡青色的鍍膜玻璃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4之任一所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：控制二氧化釩薄膜沉積的厚度在40～70納米或在120～180納米以得到反射顏色為黃色的鍍膜玻璃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4之任一所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：控制二氧化釩薄膜沉積的厚度在70～80納米以得到反射顏色為粉紅色的鍍膜玻璃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4之任一所述的玻璃襯底上彩色二氧化釩薄膜的制備方法，其特征在于：控制二氧化釩薄膜沉積的厚度在80～120納米以得到反射顏色為藍(lán)紫色的鍍膜玻璃。
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