[發明專利]一種含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統

無效

• 申請號: 200810026853.7
• 申請日: 2008-03-18
• 公開（公告）號: CN101251609A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 江紹基;張豪杰;潘洪昌;鐘金池
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G02B1/10
• 分類號: G02B1/10;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/46;G01M11/02;G01B11/06
• 代理公司: 廣州粵高專利代理有限公司
• 代理人: 禹小明

1、一種含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于包括光源(1)、用于光學鍍膜的真空室(2)、設于真空室(2)內的監控片(3)、多色儀(4)、電耦合器件(5)、A/D轉換電路(6)及計算機(7)，光源(1)發出的光進入真空室(2)照射到監控片(3)上，光透過真空室(2)并入射到多色儀(4)，經多色儀(4)衍射后形成的寬光譜入射到電耦合器件(5)上，電耦合器件(5)采集寬光譜的各譜線對應的光強并經電耦合器件(5)的驅動放大，再通過A/D轉換電路(6)后輸入計算機(7)，并由計算機(7)的監控軟件系統進行處理。

2、根據權利要求1所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：真空室(2)與多色儀(4)之間連接有將光由真空室(2)導入多色儀(4)的導光光纖(8)。

3、根據權利要求1所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：真空室(2)與多色儀(4)之間設置有將光由真空室(2)反射入多色儀(4)的反射鏡。

4、根據權利要求1所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：該多色儀(4)包括入射狹縫(9)，第一、第二平面反射鏡(10)、(11)，第一、第二曲面反射鏡(12)、(15)及光柵(13)，光由入射狹縫(9)入射，經第一平面鏡(10)反射至第一曲面反射鏡(12)，再由第一曲面反射鏡(12)反射至光柵(13)，并由光柵(13)反射，再經第二曲面反射鏡(15)及第二平面反射鏡(11)射出多色儀(4)。

5、根據權利要求1所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：該光源(1)采用150W的鹵鎢燈，并由穩壓電源驅動。

6、根據權利要求1所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：該計算機(7)的監控軟件系統包括用于設置鍍膜及電耦合器件參數的初始化模塊、用于控制電耦合器件接收光譜信息及將接收到的模擬信號轉換為數字信號的數據采集模塊、對光譜數據進行處理并將處理結果與理論曲線通過評價函數作蒸鍍判停的數據處理模塊、及用于負責實測數據和理論數據在監控程序界面的輸出和曲線描繪的數據管理模塊。

7、根據權利要求6所述的含色度監控功能的寬光譜光學鍍膜在線監控系統，其特征在于：數據處理模塊還對采集到的光譜數據進行取樣平均和平滑處理。