[發明專利]一種有機電致發光器件蒸鍍用裝置

無效

• 申請號: 200810025164.4
• 申請日: 2008-04-24
• 公開（公告）號: CN101280417A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 邱勇;魏巍;張國輝
• 申請（專利權）人: 昆山維信諾顯示技術有限公司;清華大學;北京維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
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技術領域

本發明涉及有機電致發光器件蒸鍍用裝置，尤其涉及用真空蒸鍍法制備有機電致發光器件時將有機材料氣化的蒸鍍裝置。

技術背景

隨著有機半導體技術的深入研究，有機器件的應用越來越廣泛，包括有機場效應晶體管(OTFT)，有機電致發光器件(OLED)，有機激光器件等等，這一切都離不開有機薄膜的制備，目前最常用的有機薄膜的制備工藝為真空蒸鍍的方式，通常蒸發舟的加熱方式多為電阻式加熱，所選擇的蒸發舟舟體材料為高熔點金屬如鎢、鉭、鉬等，此外還可以是氮化硼等。雖然選材不同，但原理相近，都是使蒸發舟的溫度由電阻效應升高，并將熱傳遞給舟中的有機材料，使得有機材料達到升華溫度并升華出來，這種加熱方式容易產生的問題是，容器受熱不均，從而導致蒸發舟中的材料蒸鍍速率不穩定。

后來人們通過各種方式來改進加熱方式，其中中國專利CN1446268A中提到了通過電磁加熱的方式使有機材料升華，該專利中的蒸鍍容器由電磁感應發熱的材料構成，通過電磁感應加熱的設備，使裝入容器中的有機材料氣化進行蒸鍍，其中為實現電磁感應加熱，蒸鍍容器至少底部和側面的材料由借助電磁感應發熱的材料構成。通過采用如上設計，雖然加熱時有機材料整體受熱均勻性得到了提高，但是在容器中有機材料放量多時，容器底部仍然受熱過多，容易產生材料被噴濺出來的現象，同時也無法實現在同一真空腔室中用同一套加熱裝置連續蒸鍍不同有機膜的目的。

技術方案

本發明的目的在于提供一種可以提高容器的受熱均勻性，防止有機材料噴濺，并且可以在同一真空腔室中用一套加熱裝置連續蒸鍍不同有機膜的有機電致發光器件的蒸鍍裝置。

本發明的上述目的是通過如下技術方案予以實現的。

一種有機電致發光器件蒸鍍用裝置，用于有機電致發光器件制備中有機材料的蒸鍍，包括一個電磁感應加熱裝置和一個用作蒸發舟的容器，其特征在于所述電磁感應加熱裝置包括一個電磁感應器和一個與之對應的電磁感應發熱導體，所述電磁感應器可以通過與外部電源連接使所述電磁感應發熱導體產生熱量，蒸發有機材料，其中電磁感應器置于所述蒸發舟的外部，電磁感應發熱導體置于所述蒸發舟內部，并位于蒸發舟內有機材料的上部。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應器置于蒸發舟的底部。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應器為電磁線圈。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，蒸發舟可以為多個，電磁感應加熱裝置可以與多個蒸發舟組合，連續蒸鍍多層有機膜。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應發熱導體為其上分布有若干孔隙的圓形或方形結構的柱狀結構，其中孔隙通常為圓孔，導體為薄柱狀結構。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應發熱導體的材料可以為碳化硅，石墨或氮化鈦中的一種或其它耐熱導電材料。

在上述有機電致發光器件蒸鍍用裝置中，蒸鍍裝置包括一個用于測試蒸鍍溫度的熱電偶，熱電偶的溫度感應器置于蒸發舟內。

本發明采用電磁加熱方式的有機電致發光器件蒸鍍用裝置具有如下優點：

1、溫度調節更精確

相比于其他加熱方式，由于該裝置使材料局部升溫，可以更有效的調節材料局部溫度，對于工藝精確性有很大的提高。

2、實現多舟工作模式，減少能耗

由于該蒸鍍裝置中電磁加熱裝置與蒸發舟分離，可以通過一個電磁加熱裝置與多個蒸發舟組合，通過蒸發舟的輪換，實現在同一真空腔室中用一個加熱裝置連續蒸鍍不同有機膜的目的，可以減少蒸發源預熱的時間，減少了能源消耗和設備成本，同時也可以提高發光器件的膜層均勻性和器件質量。

3、防止噴濺，降低材料消耗

傳統加熱方式是蒸發舟的底部和內壁先受熱，使得有機材料的下部和四周先升溫，材料的蒸發也從底部開始，如果溫度控制不當，會導致材料由于底部溫度過高而噴濺，本發明的電磁加熱裝置由于電磁感應發熱導體置于材料上部，加熱時；有機材料的最上層先受熱蒸發，是一個由上至下的過程，上面一層材料蒸發后下面一層材料再受熱蒸發，從而減少了材料的浪費，提高了材料的利用率，另一方面容易控制蒸鍍速度，保持蒸鍍速率均勻，從而更好控制成膜厚度。

附圖說明

圖1本發明有機電致發光器件用蒸鍍裝置剖面結構圖

01蒸鍍腔室，02蒸鍍容器(蒸發舟)，03電磁線圈，04電源，05電磁感應導體，06有機材料，07熱電偶，08溫度感應器，09基片

圖2本發明電磁感應導體剖面圖

05電磁感應導體，10孔隙

圖3本發明多舟工作模式圖