[發明專利]圓片級玻璃微腔的制造方法

無效

• 申請號: 200810023417.4
• 申請日: 2008-04-11
• 公開（公告）號: CN101259951A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 黃慶安;柳俊文;唐潔影;尚金堂
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: B81C3/00
• 分類號: B81C3/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 張惠忠

1.一種圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步，利用Si微加工工藝在Si圓片(1)上刻蝕形成特定圖案(2)，

第二步，將上述Si圓片(1)與Pyrex7740玻璃圓片(3)在小于1Pa的氣氛下進行鍵合，使Pyrex7740玻璃上的上述特定圖案形成密封腔體(5)，

第三步，將上述鍵合好的圓片在一個大氣壓下加熱至810℃～890℃，保溫3～5min，腔內外壓力差使軟化后的玻璃形成與上述微腔圖案結構相應的微腔結構(4)，冷卻，將上述圓片在常壓下退火消除應力，

2.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于所述Si原片上圖案結構的微加工工藝為濕法腐蝕工藝、或者干法ICP刻蝕工藝、反應離子刻蝕或者深反應離子刻蝕中的一種。

3.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于所述的Si原片與Pyrex7740玻璃表面鍵合工藝為陽極鍵合，典型工藝條件為：溫度400℃，電壓：600V。

4.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于，第三步中的加熱溫度為840℃～850℃。

5.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于第三步中所述熱退火的工藝條件為：退火溫度范圍在510℃～560℃中，退火保溫時間為30min，然后緩慢風冷至常溫。

6.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于第二步中硅圓片與Pyrex7740玻璃圓片按照陽極鍵合的工藝要求進行必要的清洗和拋光。

7.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于第一步中刻蝕的圖案為高的深寬比的圖案。

8.根據權利要求1或7所述的圓片級玻璃微腔的制造方法，其特征在于第一步中刻蝕的圖案深寬比為20∶1。