[發明專利]齊焦檢查方法及齊焦檢查儀

有效

• 申請號: 200810022521.1
• 申請日: 2008-08-14
• 公開（公告）號: CN101339091A
• 公開（公告）日: 2009-01-07
• 發明（設計）人: 趙躍東
• 申請（專利權）人: 南京東利來光電實業有限責任公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司
• 代理人: 湯志武;查俊奎

技術領域

本發明涉及一種顯微鏡的齊焦檢查方法和齊焦檢查裝置。

背景技術

顯微鏡的物鏡結構復雜，制作精密，由于對象差的校正，金屬的物鏡筒內由相隔一定距離并被固定的透鏡組組合而成。物鏡有許多具體的要求，齊焦是其中重要的檢查項目。齊焦既是在鏡檢時，當用某一倍率的物鏡觀察圖象清晰后，在轉換另一倍率的物鏡時，其成象亦應基本清晰。齊焦性能的優劣是顯微鏡質量的一個重要標志。

原有齊焦檢查儀的原理如圖6，光源1通過聚光鏡2，聚焦在載物臺的十字分劃板3上，此時，十字分劃板作為物象經物鏡4成像后進入目鏡5，成像于人眼。調節粗/細對焦螺旋6，首先，確定標準物鏡在齊焦位置時粗/細對焦螺旋上的刻度線所對應的讀數數值(基準數值)。然后，從目鏡觀察十字分劃板，再依次在同一孔位旋入(4X，10X，20X，60X，100X)物鏡，分別調至最清晰狀態，并分別讀取粗/細對焦螺旋上的刻度線所對應的讀數數值；此讀數數值與基準數值之差，即為齊焦的誤差精度。

此種透射式光路結構為常規的光路結構以及檢驗方式，是現有光路結構檢查齊焦的典范。此種檢查方法，由于人眼的誤差，齊焦精度不是特別高。

發明內容

本發明的目的是提供一種可以提高齊焦檢查精度的齊焦檢查方法及裝置。

該齊焦檢查方法，是利用平行光打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經過被檢物鏡在其焦面上成像，利用可沿被檢物鏡軸向移動的平面反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反射物像成像于人眼；通過調節平面反射鏡在被檢物鏡軸向的移動位置，使得反射物像的成像清晰；根據平面反射鏡相對于標準齊焦位置的距離，判斷被檢物鏡的齊焦程度。

上述齊焦檢查方法是利用的反射式光路，具體地說，其是利用平行光(光源)打出的物像(如十字分劃板的十字線)經過半透半反棱鏡透射以及被檢物鏡，在被檢物鏡的焦面上成像；利用平面反射鏡，捕捉成像，成為反射光路的被檢物鏡的焦點上的物象，然后通過被檢物鏡，通過半透半反棱鏡轉向，經過目鏡，成像于人眼。利用此反射式光路檢驗物鏡的齊焦性能，可以將齊焦精度提高一倍。

本發明同時提供了一種實現上述方法的齊焦檢查儀，包括設置在機架上的平行光光源和物像，它還包括半透半反棱鏡、可沿被檢物鏡軸向移動的平面反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠處設置平行光光源和物像，在被檢物鏡軸線前后端分別設置半透半反棱鏡和平面反射鏡，在半透半反棱鏡的側部設置目鏡；平行光光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經過被檢物鏡在其焦面上成像；平面反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反射物像成像于人眼。

為了精確反映平面反射鏡相對于各個被檢物鏡的移動位置，它還包括設置機架上的滑軌和測距儀(如千分表)；平面反射鏡與滑軌在平行于被檢物鏡軸向成滑動連接；測距儀與平面反射鏡連接，以反映平面反射鏡相對于滑軌的移動距離。

為了方便更換各個被檢物鏡，它還包括設置機架上的物鏡座；被檢物鏡與物鏡座成可拆卸連接。

為了防止產生色差，觀察受到受色差的影響。所述光源為單色光光源，中心波長D線。

為了能夠清晰看到成像，所述物像為暗場十字分劃板的十字線。最好在平行光光源與十字分劃板之間設置場鏡。由于場鏡能夠起到使軸外光束向光軸偏折的作用，因此能夠有效地將光線收攏，使出射光束的口徑減小，從而可以降低對后續透鏡通光孔徑的要求，而且場鏡可以將十字分劃板邊緣部分的光，更好的進入光學系統。

附圖說明

圖1是本發明的齊焦檢查儀的示意圖。

圖2是圖1中的物鏡座的示意圖。

圖3是圖1中的物鏡連接滑塊示意圖。

圖4是圖1中的光路系統示意圖。

圖5是反映平面反射鏡反射面、物鏡焦平面、實際像平面的相對關系的光路示意圖。

圖6是原有的齊焦檢查儀的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本發明的具體實施方式。

圖1所示的齊焦檢查儀，物鏡座1設置機架2上。物鏡座1的上方開有燕尾槽(參見圖2)。燕尾槽內設置有物鏡連接滑塊3(參見圖3)。物鏡連接滑塊3的中心開有螺紋孔31，以與被檢物鏡4連接。物鏡連接滑塊3的外側是與燕尾槽相應的燕尾滑軌32。物鏡座上的燕尾槽的軸向垂直于被檢物鏡4的軸向。燕尾槽在垂直于被檢物鏡的軸向可以根據要求插入不同大小螺紋孔的物鏡連接滑塊3，以更換不同規格的物鏡。比如：如果被檢物鏡螺紋規格為：M27×0.75；則可以插入M27×0.75規格的物鏡連接滑塊。