[發(fā)明專利]一種正性光刻膠剝離液及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810019857.2
• 申請日: 2008-03-19
• 公開（公告）號: CN101251722A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹學(xué)增
• 申請（專利權(quán)）人: 曹學(xué)增
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 柏尚春

1.一種正性光刻膠剝離液，其特征在于它是由如下重量百分比的組份組成：脂肪醇聚氧乙烯醚1～5％，環(huán)己酮10～15％，其余為單乙醇胺。

2.權(quán)利要求1所述的正性光刻膠剝離液的制備方法，其特征在于它包括如下步驟：

(1)向乳化罐內(nèi)加入單乙醇胺，攪拌混勻；

(2)向乳化罐內(nèi)加入脂肪醇聚氧乙烯醚，攪拌混勻；

(3)向乳化罐內(nèi)加入環(huán)己酮，攪拌混勻；

(4)把制得的均相透明的混合溶液送入均質(zhì)機(jī)，經(jīng)過均質(zhì)處理；

(5)將步驟(4)得到的均質(zhì)液經(jīng)冷卻、排氣和過濾后包裝。