[發(fā)明專利]多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810018694.6
• 申請(qǐng)日: 2008-03-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101311657A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董黎明;趙建;田永剛;陳冠斌;孫惺惺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇雙良鍋爐有限公司
• 主分類號(hào): F27B5/18
• 分類號(hào): F27B5/18;F27D21/02;C30B25/00;C30B29/06;C30B35/00;C01B33/03
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所
• 代理人: 唐紉蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)多晶硅的還原爐，尤其是涉及一種多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡。屬多晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集成電路等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。隨著世界半導(dǎo)體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大規(guī)格集成電路的大量應(yīng)用、光伏電池的大量需求，整個(gè)世界對(duì)多晶硅的需求量在大幅增加。

生產(chǎn)多晶硅的方法有多種，氫還原法是最常見(jiàn)的一種方法。該方法是把提純的硅鹵化物和凈化好的氫氣作為原料通入還原爐，在高溫環(huán)境中，硅鹵化物與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成多晶硅，并沉積在發(fā)熱體(小直徑的硅棒)上。化學(xué)反應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行，沉積在發(fā)熱體上的多晶硅越來(lái)越多，硅棒漸漸變粗，最后生成了有效高度約為2.8m、直徑約為150mm的多晶硅硅棒。

多晶硅還原爐是多晶硅硅棒的最終生成設(shè)備，在硅鹵化物被氫氣還原生成多晶硅硅棒的過(guò)程中，會(huì)放出大量的熱，還原爐內(nèi)的工作溫度超過(guò)1000℃，還原爐的冷卻直接關(guān)系還原爐的安全使用和還原爐的使用壽命。

多晶硅還原爐，國(guó)內(nèi)已有相關(guān)研究，下面分別予以說(shuō)明。

專利號(hào)ZL?200420060144.8也公開(kāi)了一種多晶硅氫還原爐，該還原爐包括帶有冷卻水腔的封頭和爐體，底盤，底盤下的進(jìn)氣管和排氣管，底盤上的電極，所述電極為12對(duì)、即24個(gè)電極，且在底盤上沿兩個(gè)圓周均布設(shè)置；所述進(jìn)氣管主要由一個(gè)水平環(huán)管和9個(gè)噴嘴連通構(gòu)成，其中8個(gè)噴嘴位于兩圈電極之間、且沿同一圓周均布設(shè)置在底盤上，一個(gè)噴嘴設(shè)置在底盤中心位置。8對(duì)電極中設(shè)置在外圓周上，其余4對(duì)電極設(shè)置在內(nèi)圓周上。電極中，正、負(fù)電極在底盤上逐一間隔設(shè)置。底盤是水冷式結(jié)構(gòu)，其上設(shè)置冷卻水進(jìn)口和出口。爐體上設(shè)置有雙層玻璃結(jié)構(gòu)的視窗。封頭頂部設(shè)置有連接法蘭。該專利的主要不足之處在于視鏡未采用水冷結(jié)構(gòu)，不能保證在還原爐內(nèi)超過(guò)1000℃高溫條件下長(zhǎng)期穩(wěn)定使用。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種帶有水冷結(jié)構(gòu)的多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡，包括內(nèi)筒、外筒、法蘭III、法蘭II、法蘭I、內(nèi)層玻璃、外層玻璃、冷卻水進(jìn)口I、冷卻水進(jìn)口II、冷卻水出口II和冷卻水出口I，所述內(nèi)筒與外筒同軸設(shè)置，內(nèi)筒插置在法蘭III內(nèi)孔內(nèi)，外筒設(shè)置在法蘭III內(nèi)端，法蘭II和法蘭I依次疊層布置在法蘭III外側(cè)，內(nèi)層玻璃設(shè)置在法蘭III與法蘭II之間，外層玻璃設(shè)置在法蘭II與法蘭I之間，內(nèi)層玻璃、外層玻璃和法蘭II之間圍成一封閉容腔，法蘭II上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口II和冷卻水出口II，外筒上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口I和冷卻水出口I。冷卻水對(duì)外層玻璃、內(nèi)層玻璃、內(nèi)筒、外筒進(jìn)行冷卻。

與現(xiàn)有多晶硅還原爐用視鏡相比，本發(fā)明能保證視鏡的長(zhǎng)期、可靠工作，以實(shí)現(xiàn)還原爐的長(zhǎng)期、安全、高效的運(yùn)行。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：冷卻水進(jìn)口I1、冷卻水進(jìn)口II2、螺栓3、螺母4、外層玻璃5、內(nèi)層玻璃6、法蘭I7、法蘭II8、冷卻水出口II9、法蘭III10、冷卻水出口I11、內(nèi)筒12、外筒13。

具體實(shí)施方式

參見(jiàn)圖1，多晶硅還原爐之水冷雙層玻璃視鏡主要由內(nèi)筒12、外筒13、法蘭III10、法蘭II8、法蘭I7、內(nèi)層玻璃6、外層玻璃5、冷卻水進(jìn)口I2、冷卻水進(jìn)口II1、冷卻水出口II9和冷卻水出口I11組成。所述內(nèi)筒12與外筒13同軸設(shè)置，內(nèi)筒12插置在法蘭III10內(nèi)孔內(nèi)，外筒13設(shè)置在法蘭III10內(nèi)端，法蘭II8和法蘭I7依次疊層布置在法蘭III10外側(cè)，并用螺栓3和螺母4固定。內(nèi)層玻璃6設(shè)置在法蘭III10與法蘭II8之間。外層玻璃5設(shè)置在法蘭II8與法蘭I7之間。內(nèi)層玻璃6、外層玻璃5和法蘭II8之間圍成一封閉容腔。法蘭II8上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口II2和冷卻水出口II9。外筒12上設(shè)置有冷卻水進(jìn)口I1和冷卻水出口I11。一路冷卻水從冷卻水進(jìn)口II2進(jìn)入、流過(guò)外層玻璃5與內(nèi)層玻璃6之間的間隙，對(duì)外層玻璃5與內(nèi)層玻璃6進(jìn)行冷卻，從冷卻水出口II9排出。另一路冷卻水從冷卻水進(jìn)口I1進(jìn)入，對(duì)內(nèi)筒12、外筒13進(jìn)行冷卻，從冷卻水出口I11排出。