[發明專利]一種喇叭網的蝕刻法生產工藝

無效

• 申請號: 200810018078.0
• 申請日: 2008-04-28
• 公開（公告）號: CN101271275A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 鄭建博;楊志崗
• 申請（專利權）人: 彩虹集團電子股份有限公司
• 主分類號: G03F7/12
• 分類號: G03F7/12;H04R31/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 朱海臨

1.一種喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，包括下述工序：

(1)制版：用CAD制圖，采用光繪機制作玻璃工作版或菲林膠片版；

(2)備料：將鋼帶卷安裝到放卷架上，或用剪板機將卷材切成單塊板材；

(3)除油：對鋼帶或單塊板材用清洗劑進行除油，再經過工業水及純水進行清洗干燥；

(4)感光材料涂敷：對經過除油的鋼帶用PVA感光膠涂敷，而后進入干燥爐進行烘干；對除油后的單塊板材用絲網涂敷感光性抗蝕油墨，一面涂墨完成后在紅外烘干機中烘干后再對另一面用同樣的工藝進行涂墨、烘干；

(5)曝光：將經過感光膠涂敷和烘干的鋼帶夾在玻璃工作版中進行紫外線雙面曝光，或將已烘干的油墨單塊板材夾在菲林膠片版中間進行紫外線雙面曝光；

(6)顯影：用純水對經過曝光的鋼帶進行顯影；或用Na₂CO₃溶液作為顯影液，對單塊板材進行顯影，將未被曝光的部分顯影掉，保留曝過光的圖形；

(7)固化：顯影過的鋼帶經過鉻酸溶液堅膜，而后經過氣割和固化爐固化；或將顯影后的單塊板材在烘箱中加熱固化；

(8)蝕刻：經過固化的鋼帶或單塊板材進入腐蝕室在FeCl₃溶液中進行蝕刻，或采用蝕刻機噴淋FeCl₃溶液蝕刻；

(9)剝膜：經過蝕刻的鋼帶在60～110℃的NaOH溶液中進行剝膜處理；或將經過蝕刻的單塊板材放入90℃±10℃的NaOH溶液進行剝膜處理；

(10)清洗烘干：鋼帶在剝膜處理后，依次經過水洗、中和、再水洗、純水洗后烘干；單塊板材剝膜處理后，用清水、純水清洗后烘干。

2.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(1)中，制版按A＝T/2計算，其中A為腐蝕余量，T為原材料厚度。

3.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(4)中，PVA感光膠涂敷厚度控制在5.0～10.0μm。

4.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(5)中，曝光時間：鋼帶為30～50s；單塊板材為3～8s。

5.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(6)中，鋼帶顯影溫度為20～50℃，顯影壓力為0.05～0.20Mpa；單塊板材顯影溫度45℃±5℃，顯影壓力0.25±0.05Mpa；顯影液Na₂CO₃溶液的濃度為2.0～5.0％。

6.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(7)中，鉻酸溶液的濃度為1.60±0.50％。

7.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(8)中，FeCl₃溶液的疲勞度為5～15％、游離酸濃度為1.5～2.5％、波美為48.0±5.0Be′，腐蝕溫度為40～55℃，腐蝕壓力為0.20～0.50Mpa。

8.如權利要求1或7所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述用蝕刻機噴淋蝕刻經過八個噴淋室，每個噴淋室泵的壓力均為0.20～0.40Mpa。

9.如權利要求1所述喇叭網的蝕刻法生產工藝，其特征在于，所述步驟(9)中，NaOH溶液的濃度為10～20％。