[發明專利]新型雙動鏡干涉儀

無效

• 申請號: 200810017884.6
• 申請日: 2008-04-03
• 公開（公告）號: CN101251420A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 楊慶華
• 申請（專利權）人: 楊慶華
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.?一種新型雙動鏡干涉儀，包括30度角設置在入射光束光路上的一個分束器，該分束器適于從一個入射光束產生一個第一和一個第二光束；還包括設置在分束器反射光束光路上的第一平面鏡和設置在分束器透射光束光路上的第二平面鏡，所述第一平面鏡和第二平面鏡與分束器之間的夾角均為30度；還包括設置在光束光路上的第一動鏡和第二動鏡、以及探測器和將經第一動鏡和第二動鏡反射的光束會聚到探測器上的收集鏡。

其特征在于：

所述的第一動鏡位于所述第一平面鏡的反射光束光路上，所述的第二動鏡位于所述第二平面鏡的反射光束光路上，它們均為平面反射鏡；所述的第一動鏡和第二動鏡被一個剛性結構背靠背地平行固定在一起，作為一個單獨的運動部件；所述的第一動鏡和第二動鏡之間的距離幾乎為零，它們的反射面處于相反的方向；所述的第一動鏡、第二動鏡、分束器之間相互平行，它們與入射平行光束之間的夾角均為30度；所述的第一動鏡和第二動鏡沿分束器的法線方向做直線往復運動。

所述的第一平面鏡和入射光束相互平行，所述的第二平面鏡與入射光束之間的夾角為60度；所述的第一平面鏡、第二平面鏡與分束器之間的夾角均為30度；所述的分束器、第一平面鏡、第二平面鏡、第一動鏡、第二動鏡的中心位于同一個平面內。

2.?根據權利要求1所述的一種新型雙動鏡干涉儀，其特征在于：如果所述的分束器在入射光束方向上第二個面為半反射面，在該分束器與第二平面鏡之間的光路上還設置有同時補償各種波長光程差的補償板；該補償板與分束器完全相同且平行放置；此時第一平面鏡和第二平面鏡關于分束器的半反射面對稱，分束器的半反射面、第一平面鏡、第二平面鏡的中心位于等邊三角形的三個頂點上。

3.?根據權利要求1所述的一種新型雙動鏡干涉儀，其特征在于：如果所述的分束器在入射光束方向上第一個面為半反射面，在該分束器與第一平面鏡之間的光路上還設置有同時補償各種波長光程差的補償板；該補償板與分束器完全相同且平行放置；此時第一平面鏡和第二平面鏡關于分束器的半反射面對稱，分束器的半反射面、第一平面鏡、第二平面鏡的中心位于等邊三角形的三個頂點上。

4.?根據權利要求1～3任一所述的一種新型雙動鏡干涉儀，其特征在于：所述的收集鏡為會聚透鏡或會聚透鏡組。