[發(fā)明專利]真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810017780.5 | 申請日: | 2008-03-12 |
| 公開(公告)號: | CN101311297A | 公開(公告)日: | 2008-11-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 范多旺;范多進;楊樹本;牛曉山;武福;孔令剛;王成龍 | 申請(專利權(quán))人: | 蘭州大成自動化工程有限公司;蘭州交通大學(xué) |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 蘭州振華專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 張真 |
| 地址: | 730070*** | 國省代碼: | 甘肅;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 真空鍍膜 設(shè)備 工件 三維 轉(zhuǎn)動 機構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明主要涉及真空鍍膜設(shè)備,尤其涉及鍍膜工件轉(zhuǎn)動架的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
采用真空鍍膜技術(shù)是目前制備各種性能薄膜的途徑之一,常規(guī)真空鍍膜設(shè)備的工件轉(zhuǎn)架僅有公轉(zhuǎn),公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)的功能,為此存在外圍鍍膜不均勻,局部外露面鍍不到或鍍層不均勻,環(huán)繞型外面體不能一次裝夾完成真空鍍膜。
發(fā)明內(nèi)容:
本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu),可實現(xiàn)工件在真空環(huán)境中.公轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)+旋轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)+旋轉(zhuǎn)四種不同狀態(tài)的運動效果,具備靈活性、多樣性,提高鍍膜質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
本發(fā)明的目的可以通過采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn):一種真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu),包括有動力輸入軸(1-1)、公轉(zhuǎn)盤支撐座(1-2)、公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動軸承(1-3)、公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動連接盤(1-4)、公轉(zhuǎn)盤(1-5),在公轉(zhuǎn)盤(1-5)上設(shè)有工件轉(zhuǎn)盤支撐桿(13),工件轉(zhuǎn)盤支撐桿(13)上方設(shè)有上支架(14),工件桿(4)通過工件桿自轉(zhuǎn)上定位轉(zhuǎn)動支撐座(15)與上支架(14)連接,工件桿(4)上設(shè)置有工件旋轉(zhuǎn)軸(11),工件旋轉(zhuǎn)軸(11)通過旋轉(zhuǎn)傳遞鏈鏈條(12)相連接,其主要特點在于:在公轉(zhuǎn)盤(1-5)上設(shè)有工件自轉(zhuǎn)和工件旋轉(zhuǎn)機構(gòu),公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動連接盤(1-4)與自轉(zhuǎn)齒輪盤(2-2)固連,在自轉(zhuǎn)齒輪盤(2-2)上設(shè)有自轉(zhuǎn)盤固定支撐座(2-1)。
所述的工件自轉(zhuǎn)機構(gòu)是所述的自轉(zhuǎn)齒輪盤(2-2)與自轉(zhuǎn)齒輪(2-3)相嚙合,自轉(zhuǎn)齒輪(2-3)與中心輪(2-5)相嚙合,中心輪(2-5)與自轉(zhuǎn)空心軸(2-4)固連,并與工件自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)和工件桿(4)固連。
所述的工件旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是所述的自轉(zhuǎn)齒輪盤(2-2)與旋轉(zhuǎn)齒輪(3-1)相嚙合,旋轉(zhuǎn)齒輪(3-1)與旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)之間設(shè)有旋轉(zhuǎn)連接盤(3-3),旋轉(zhuǎn)連接盤(3-3)與旋轉(zhuǎn)齒輪(3-1)、旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)固連;在旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)上設(shè)有傘齒輪(5-1),與其嚙合的傘齒輪(5-2)與工件旋轉(zhuǎn)軸(11)相固接,工件旋轉(zhuǎn)軸(11)設(shè)在工件自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)上。
所述的真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu),還包括有在所述的公轉(zhuǎn)盤(1-5)上設(shè)有鎖定軸頭(6-1),鎖定軸頭(6-1)通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生板(6-2)與旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)固連。當(dāng)旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)不旋轉(zhuǎn)而工件自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)處于自轉(zhuǎn)狀態(tài)時,安裝在自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)上的工件旋轉(zhuǎn)軸(11)隨自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)進行自轉(zhuǎn)運動,此時與旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)固連的傘齒輪(5-1)不轉(zhuǎn)動,而與之嚙合的傘齒輪(5-2)進行自轉(zhuǎn)運動,這樣使工件旋轉(zhuǎn)軸(11)產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)運動。
所述的公轉(zhuǎn)盤(1-5)與軸承座(7)固連,軸承座(7)與自轉(zhuǎn)空心軸(2-4)之間設(shè)有軸承(17);自轉(zhuǎn)空心軸(2-4)與旋轉(zhuǎn)中心軸(3-2)之間設(shè)有軸承(16)。
所述的真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu)還包括有所述的工件自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)與自轉(zhuǎn)約束限位桿(9)相固連,自轉(zhuǎn)約束限位桿(9)固連于公轉(zhuǎn)盤(1-5)上。此狀態(tài)由自轉(zhuǎn)約束限位桿(9)將自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)約束在一個固定位置,以實現(xiàn)工件不自轉(zhuǎn)。
所述的真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu),在所述工件桿(4)和工件自轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)連接器(8)之間設(shè)有自轉(zhuǎn)連接頭(10)。
本發(fā)明的有益效果是:
1.該運行機構(gòu)可以靈活應(yīng)用,做到:(1).公轉(zhuǎn);(2).公轉(zhuǎn)+旋轉(zhuǎn);(3)公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn);(4)公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)+旋轉(zhuǎn),四種不同狀態(tài)的運動效果,具備靈活性、多功能性。
2.在真空鍍膜生產(chǎn)中,實現(xiàn)了不同工件的真空鍍膜在不同要求的情況下滿足不同安裝方式的多樣性要求,具有廣闊的適應(yīng)性。
3.實現(xiàn)了工件一次性裝夾完成所有外露表面的真空鍍膜。
4.多功能真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu)在真空鍍膜時安裝使用,解決了原來真空鍍膜設(shè)備在鍍制復(fù)雜工件表面時需要多次變換方向造成表面膜層不均勻問題,提高了鍍膜質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
5.多功能真空鍍膜設(shè)備工件三維轉(zhuǎn)動機構(gòu)在真空鍍膜設(shè)備中使用。
附圖說明:
圖1為本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明的實施例1的安裝結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明的實施例2的安裝結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明的實施例3的安裝結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為本發(fā)明的實施例4的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式:
以下結(jié)合附圖所示之最佳實施例作進一步詳述:
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
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